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[求助]PMMA基板上镀膜，出现膜裂和脱膜，求大神指点！ [复制链接]

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离线即兴以来

发帖: 264

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只看楼主正序阅读楼主发表于: 2015-08-01

回复本帖可获得1枚光币奖励！
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现在在PMMA基板上镀AR膜，使用Leybold真空镀膜机，电子枪蒸发方式，选用Ta2O5和SiO2作为镀膜材料；会出现膜裂和脱膜现象，使用3M胶带拉，膜层几乎全部脱落；镀膜前基板未经清洗处理，在真空室中加热到50℃，然后停止加热，开始镀膜，镀膜整个过程中温度未超过50℃。
求大神指点，如何改善工艺才能解决膜裂和脱膜的问题，非常感谢！

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离线renlgj

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只看该作者 27楼发表于: 2024-08-22

感觉应该是膜层与基底亲和度问题

离线菲涅尔

助理工程师

发帖: 538

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只看该作者 26楼发表于: 2024-02-06

膜层与基底结合力不够

离线f4213705

发帖: 97

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只看该作者 25楼发表于: 2022-06-10

的，附着力不行

离线sgsmta

高级工程师

发帖: 856

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只看该作者 24楼发表于: 2022-06-09

改用耐温的PMMA吗？

离线蚂蚁啃大象

发帖: 30

光币: 9

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只看该作者 23楼发表于: 2022-05-11

PMMA基板加硬处理，再镀膜

离线凯歌一万年

发帖: 75

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只看该作者 22楼发表于: 2022-03-25

这个要用硅铝混合物和五氧化三钛

离线xtzxwwb

助理工程师

发帖: 61

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只看该作者 21楼发表于: 2018-07-14

回即兴以来的帖子

即兴以来:请问镀膜前怎么清洗，尝试过用酒精，不行！ ^I0GZG
谢谢！ (2015-09-06 20:42) 7MuK/q.

用酒精就大错特错了，如果镀膜后也用酒精擦拭，再好的附着力都会脱膜，膜裂

离线1592203609

发帖: 56

光币: 26

光券: 0

只看该作者 20楼发表于: 2018-07-02

回西北风的帖子

西北风:现在解决了吗？如果没有可联系我 QQ2860598589 (2015-09-17 15:47) e0~sUVYf

能分享一下如何解决的吗？

离线斯文未遂

发帖: 238

光币: 44

光券: 0

只看该作者 19楼发表于: 2017-07-21

为什么要用胶带拉呢，上次镀的反射膜就被我用胶带粘完了

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