[求助]PMMA基板上镀膜，出现膜裂和脱膜，求大神指点！ [复制链接]

现在在PMMA基板上镀AR膜，使用Leybold真空镀膜机，电子枪蒸发方式，选用Ta2O5和SiO2作为镀膜材料；会出现膜裂和脱膜现象，使用3M胶带拉，膜层几乎全部脱落；镀膜前基板未经清洗处理，在真空室中加热到50℃，然后停止加热，开始镀膜，镀膜整个过程中温度未超过50℃。
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求大神指点，如何改善工艺才能解决膜裂和脱膜的问题，非常感谢！ : x>I- 3G  
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描述:膜裂+脱膜

图片:膜裂.jpg

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描述:脱膜

图片:脱膜.jpg

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感觉应该是膜层与基底亲和度问题

膜层与基底结合力不够

的，附着力不行

改用耐温的PMMA吗？ Gk{ "O%AE  

PMMA基板加硬处理，再镀膜

这个要用硅铝混合物和五氧化三钛

即兴以来:请问镀膜前怎么清洗，尝试过用酒精，不行！ z!1/_]WJ,  
谢谢！ (2015-09-06 20:42)  :,}:c%-^"  

y 8d`},  
用酒精就大错特错了，如果镀膜后也用酒精擦拭，再好的附着力都会脱膜，膜裂

西北风:现在解决了吗？如果没有可联系我 QQ2860598589 (2015-09-17 15:47)  (krG0S:0Q  

Jn:GA@[I  
能分享一下如何解决的吗？

为什么要用胶带拉呢，上次镀的反射膜就被我用胶带粘完了