真空热蒸发镀膜故障的排除 % -e 82J1
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1．镀铝层阳极氧化故障的排除 xpx\=iAe
故障名称 成 因 及 对 策 ; l-!)0 U
氧化层表面有点状痕迹 (1)预熔时电流过高或未加挡板。应适当降低预熔电流及加设挡板。 G<^{&E+=
(2)蒸发电流过高。应适当降低 78H' a x9m
氧化层表面有流痕印迹 (1)镀件表面清洁不良。应加强清洁处理。 `%Al>u5
(2)擦拭镀件时蘸用乙醇过多。应减少乙醇的蘸用量。 9lDhIqx0~
(3)手指接触镀件表面后留下指印。应禁止手指接触镀件表面。 !o[7wKrXb
(4)唾液喷溅到镀件表面，使镀层表面产生圈状印迹。操作者应带上口罩 H&} pkrH~
氧化层表面有灰点 (1)真空室底盘或室壁太脏。应使用乙醇擦拭干净。 A7hVHxNJ-
(2)夹具太脏。应按工艺规程定期清洗夹具 O|N{ v"o
氧化层表面发红 (1)阳极氧化电压偏低，氧化层厚度不够。应将电压提高到120V左右。 Y]u+\y~
(2)氧化时间太短，导致阳极氧化后表面发红。应适当延长氧化时间 `P;s 8~
氧化层表面发花 (1)氧化电压太高，氧化层部分发蓝。应适当降低电压。 E'.7xDN
(2)各氧化点的电压或氧化时间不相同。应使各氧化点的电压和氧化时间保持一致。 DXK}-4"\
(3)电解液温度太高。应适当降低
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氧化层表面发黄 (1)氧化电压太高，氧化层太厚。应适当降低电压。 h@WhNk7"xa
(2)氧化时间太长。应适当缩短。 }t1a* z
(3)氧化点太多。应适当减少 nSAdCJ;4
氧化层表面有灰白细点 (1)溶液中铝含量增加。应更换部分溶液。 y e? 'Ze
(2)电解液温度太高。应适当降低。 Y~E `9
(3)镀件水洗不足，表面残留电解液，在水分或潮湿气体作用下形成灰白色的氢氧化铝细 yU}qOgXx
点。应将氧化后的镀件表面用蒸馏水洗净电解液，然后擦干，最好是将氧化后的镀件擦干后 %zw1}|s#z
放人无水乙醇中浸1-2h，然后加温到12．0~C保温数小时 ;K &o-y
氧化后镀层起泡脱落 (1)镀件表面油a8未除净。应加强脱脂处理。 "djw>|,N<
(2>真空度太低。应适当提高蒸发时的真空度。由于铝是易氧化的金属，又容易吸收氧， P &e\)Z|
在低真空度下蒸发，会因吸收剩余气体而形成茶褐色的氧化膜，导致反射率降低，镀层易起泡 n%s]30Xs
脱落。通常预熔的真空度为0．067Pa；蒸镀装饰性的铝膜，蒸发时的真空度可适当低一些，一 9 lH?-~ 9
般和预熔的真空度相同；蒸镀质量要求高的铝膜，真空度应当高一些，一般为(4—6．7)x10” l9u!aD
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(3)镀件表面有异物附着。可实施离子轰击。一般蒸镀铝膜时进行离子轰击的工艺条件 &<U0ZvrsH
为：电压2—3kV；电流60—140mA；时间5—30min K$_ 0 `>[
氧化后镀层露底 镀铝层太薄。应适当延长蒸镀时间，增加膜层厚度。通常，铝膜厚度为(5—20)xlo—3mm， 8 j\cL'
控制其厚度主要采用计时法，亦可根据膜层的透光程度来判断膜厚，这些方法都需要操作人 *m,k(/>
员具有丰富的实践经验才能控制，但对装饰镀层用上述方法已足可满足要求 :| 8M`18lZ
氧化层厚度不足 (1)电解时间太短。应适当延长。 8j % Tf;
(2)氧化电压偏低。应适当提高。 Tk O[rAC
(3)接触不良。应改进接触方式，阳极(镍针)与镀件表面铝层必须接触良好。 V{&rQ@{W
(4)接触点的数量不够。应增加接触点。对于面积较大的镀件，应在120~的分度线上设三个氧化点。 p6XtTx
(5)电解液温度偏高。应适当降低。 { F}; n?'
(6)接触点被击穿。应变换接触点 [j:[
氧化层表面有针孔 (1)镀铝层太薄。应适当延长蒸发时间。 Tl|:9_:t
(2)静电除尘不彻底。应严格按照工艺要求进行静电除尘。 FS b Hn{@
(3)离子轰击电流太大，时间太长。应适当减小离子轰击电流，一般60—140mA。离子轰击 $ 4T2z-
规范应视镀件材质的耐热程度来调整，以防镀件变形。 5pRV 3K{H
(4)真空室和夹具太脏。应定期清洁真空室和夹具 rJInj>|{=
氧化层脱边 (1)镀件边缘清洁不良，有抛光粉、汗渍和污物等。应加强镀件边缘的清洁，擦拭时应带上 :BGA.
工作手套。 @hImk`&[N
(2)夹具不清洁。应彻底清洁夹具，特别应注意清洁夹具与镀件边缘接触的部位 } AvcoD/b
氧化层耐磨和耐蚀性能不良 (1)电解液温度偏高。应适当降低。 +/;*|
(2)氧化电压偏低。应适当提高。 xN@Pz)y o
(3)电解时间太长。应适当缩短。 ~b|`'kU
(4)电解液浓度过高。应适当降低。 )CS.F=
(5)镀铝层被污染。应防止镀件污染 )I-f U4?
氧化电压升不高 (1)接触点被击穿。应变换接触点。 ' 2-oh
(2)电解液浓度不正常。应调整电解液浓度。 2. X" f
(3)接触点接触不良。应改进接触方式 M8b4NF_&
接触点烧焦 (1)镀件与夹具接触不良。应改善接触条件，使其导电性能良好。 (?b@b[D~4
(2)氧化电压过高。应适当降低。 " uPy,<l
(3)电解液浓度不正常。应按配方进行调整 35*\_9/#
2．镀铝层表面蒸镀一氧化硅保护膜故障的排除 2w$t wW-
故障名称 成 因 及 对 策
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镀铝层表面呈蓝灰色 (1)镀铝层偏厚。应适当缩短蒸镀时间。 g3%t8O/M
(2)真空度太低。应适当提高蒸发时的真空度。 47T}0q ,
(3)蒸发速度太慢。应将蒸发速度提高至3x10—3mnl~$。 p=QYc)3F
(4)蒸发源上无铝，仍继续加热。应补加铝丝或铝箔。 Zzl,gy70
(5)蒸发源上铝材的纯度太低。应使用纯度为99．9％—99．99％的铝丝或铝箔 j,2l8?
膜层表面发红 一氧化硅镀膜太薄。应适当延长蒸镀时间 &wetzC )
膜层表面开裂 (1)一氧化硅的蒸发速度太快。应适当减慢。 te4= S
(2)一氧化硅镀膜太厚。应适当减少蒸发时间。一般镀膜厚度为波长l的一半为宜。精密 :Ld!mRZF
控制膜层厚度需用光电膜厚控制仪，简单的方法亦可采用目测。目测法是根据表面的干涉色 \BI/G
随厚度增厚而变化的规律米控制膜厚，其表面颜色的变化规律为：黄一红一紫一绿一黄一红。 XO
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在蒸镀时，若观察到第二次干涉色为黄色或红色时，立即停止蒸发，即可获得适宜的膜厚。 yO>V/5`
(3)镀后热处理工艺条件控制不当。应按缓慢升温和降温的要求进行烘烤处理 xqHL +W
膜层不耐磨 (1)一氧化硅镀膜太薄。应适当延长一氧化硅膜的蒸发时间。 0D(cXzQP
(2)镀后热处理工艺控制不当。应按工艺规程进行烘烤
