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ü 新增加了来评估散射光对镜向透射与镜向反射性能影响的散射模型。这些散射模型通过在每一层的前面增加散射层来散射光线。有两种类型的散射层:短距离膜层—Scatter(s)和长距离膜层- Scatter(l)。当粗糙度相对于波长很小时,短距离散射使用渐变折射率层。长距离散射使用2002年6月C. K. Carniglia与 D.G. Jensen发表在应用光学杂志Applied Optics 卷41(16)“Single-layer model for surfaceroughness” 的散射模型。在计算中,每一个散射层替代该膜层顶部第二层(朝向基底方向)。散射膜层的厚度只能输入物理厚度,此厚度值是粗糙表面RMS粗糙度的两倍。膜层计算只计算散射膜层下方的厚度。因此,当散射模型增加时你不需要改变设计层的厚度。 !^Q4ZL,-
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