博开低温泵（冷泵、冷凝泵）的应用

一）、博开超高低温泵 WV_y@H_  
"|w..%Wc  
w V&{w7  
i|+ EC_^<  
wP3_RA]z  
=\.Oc+p4  
Cr|v3Y#h'  
q/-8sO}q  
n~N>c*p  
二）、博开DZB400低温泵应用 ),%/T,!@  
!U.Xb6  
fI(u-z~,  
o.U$\9MNP  
`"QUA G  
一、设备情况： R>H*MvN  
1、设备腔体尺寸直径1.1米； $by-?z((  
2、前级泵：机械泵4.5Kw+罗茨泵3Kw； DODo !  
3、主泵配置：博开DZB400低温真空泵两台（原配2台KT500mm口径的扩散泵8Kw）； _l,?Y;OF  
二、使用情况： z5IHcZ  
1、机械泵+罗茨泵预抽真空室至3Pa，需要20min。 LcCb[r  
2、开高阀，抽高真空至6.4x10（-4）Pa，所需25min。 }ny,Nl  
三、对比 OJ$169@;  
1、抽速：原两台KT500mm扩散泵抽至8.4x10（-4）Pa，需要时间45-50min。DZB400低温泵抽至6.4x10（-4）Pa，所需25min。 ~8~B VwZ_  
2、耗能：a、原KT500mm扩散泵加热时功率为8KW，两台扩散泵为16Kw，机械泵4.5Kw+罗茨泵3Kw同时开启，共需23.5Kw/h。 -C.x;@!k  
                b、DZB400低温泵4.5KW（功率恒定），两台低温泵为9Kw,由于低温泵的使用特性，抽取高真空时，前级机械泵+罗茨泵无需开启，只需抽低真空至3Pa以下即可， uV.3g 1m  
设；使用30分子钟抽至低真空3Pa，机械泵耗费约2.25Kw，罗茨泵耗费约1.5Kw，使用低温泵后共需12.75Kw/h。 $,"{g<*k;  
3、环境：低温泵为无油泵，对镀膜高端产品时，无需考虑返油问题，提高产品质量。 U*F
|Z4{W  
三）、博开DZB720低温泵应用 
,!_
 
q+2yp&zF  
HpXMPHd  
?z0f5<dL  
) ?rJKr[`  
yZ3/Ia>,  
Srj%6rgsB  
一、设备情况 .{ ^4I  
1、设备腔体尺寸直径1.3米 iJ_`ZM.w  
2、前级泵：两台机械泵+   罗茨泵 }T%;G /W  
3、主泵配置：博开DZB720低温泵一台   8;9GM^L  
二、抽真空情况 7onMKMktM%  
附；真空度时间记录表； R_J=x  
5(bG  
m)9N9Ii#)  
以上发表紧代表个人，仅供参考， dq~p]h~,H  
有兴趣了解或意向购买可以加我Q；811651228， 7
?j$Lwt  
或邮箱：lishuai@bwokai.com aVvi_cau  
也可电话：15067976093 李 `84pql,  
欢迎一起学习讨论； v<bq1QG