博开低温泵（冷泵、冷凝泵）的应用

一）、博开超高低温泵 u3])_oj=  
"e@?^J)  
&KPJB"0L  
D!5{CQl  
F_z1ey`t  
,!Q^"aOT:  
' i<}/l  
b|E1>TkY  
2{I+H'w8:  
二）、博开DZB400低温泵应用 O#3PUuE%d  
Y2>0Y3yM  
>NjgLJh  
Ot
([5/K  
*Vr;rk  
一、设备情况： hYY-Eq4TC  
1、设备腔体尺寸直径1.1米； D9;s%  
2、前级泵：机械泵4.5Kw+罗茨泵3Kw； st-I7K\v  
3、主泵配置：博开DZB400低温真空泵两台（原配2台KT500mm口径的扩散泵8Kw）； z\r29IRh  
二、使用情况： k.Q4oyei  
1、机械泵+罗茨泵预抽真空室至3Pa，需要20min。 N={0A  
2、开高阀，抽高真空至6.4x10（-4）Pa，所需25min。 O~&j}WN  
三、对比 IW5N^J  
1、抽速：原两台KT500mm扩散泵抽至8.4x10（-4）Pa，需要时间45-50min。DZB400低温泵抽至6.4x10（-4）Pa，所需25min。 WYY&MHp  
2、耗能：a、原KT500mm扩散泵加热时功率为8KW，两台扩散泵为16Kw，机械泵4.5Kw+罗茨泵3Kw同时开启，共需23.5Kw/h。 [E6ZmMB&  
                b、DZB400低温泵4.5KW（功率恒定），两台低温泵为9Kw,由于低温泵的使用特性，抽取高真空时，前级机械泵+罗茨泵无需开启，只需抽低真空至3Pa以下即可， R/@n+tbe  
设；使用30分子钟抽至低真空3Pa，机械泵耗费约2.25Kw，罗茨泵耗费约1.5Kw，使用低温泵后共需12.75Kw/h。 H:!pFj  
3、环境：低温泵为无油泵，对镀膜高端产品时，无需考虑返油问题，提高产品质量。 #S') i1;  
三）、博开DZB720低温泵应用 K~Z$NS^W&  
DhzmC  
<g'0q*qE  
#Pe|}!)u  
QrRnXlEM8  
-PLh|  
ve@E.`  
一、设备情况 1y7FvD~v  
1、设备腔体尺寸直径1.3米 C[Nh>V7=  
2、前级泵：两台机械泵+   罗茨泵 bPUldkB:  
3、主泵配置：博开DZB720低温泵一台   {^_K  
二、抽真空情况 Be~In~~  
附；真空度时间记录表； RAAu3QKu  
N`rz>6,k1  
`i{p6-U3  
以上发表紧代表个人，仅供参考， Y:4/06I  
有兴趣了解或意向购买可以加我Q；811651228， iNv"!'|  
或邮箱：lishuai@bwokai.com f/UIpswrZ'  
也可电话：15067976093 李 WIYWql>*  
欢迎一起学习讨论； lCiRvh1K