193nm长工作距离深紫外物镜

发布:1983pengya 2015-04-01 00:12 阅读:2645
香港弗锐达科技有限公司推出针对193nm 40x长工作距离深紫外物镜,工作距离可达1.5mm,NA:0.6. v(`9+*  
QUO'{;,  
性能参数 xo.k:F  
[a[.tR38e  
ITEM#COATINGMWDEFLNATFSEALSPOTSIZE
XWJ-40X-UVUV40×1.5mm4.4mm0.61μm5.3mm43.5mm1μm
xCYK"v6\  
np6R\Q!&  
注:有限远共轭 ec sQshR  
>>b <)?3Rv  
2.外形尺寸
6g-Q  
Rh :|ij>B  
b9Mp@I7Q-  
8t5o&8v  
3.成像质量测试报告 8-&c%h 1  
R8%%EEB  
bP)( 4+t~  
4.检测结果 1$#1  
n|N?[)^k  
4.1焦距测量 bn#'o(Lp  
xiy=D5N.=  
)jPIBzMys  
焦距测量的测试波长为绿光(540nm),该波长下的显微物镜焦距为5.6mm,实测焦距为5.3mm ]k# iA9I  
+/n<]?(T  
4.3 透过率测量 )C>8B`^S  
M3 &GO5<  
%5 ovW<E:  
陪镀片的剩余反射率曲线
  • 利用陪镀片进行测量,陪镀片厚度:8mm;
  • 结果:内透过率:99.6%;零件透过率:98.4%;单面透过率:99.485%
  • 整体透过率为94%(193nm处)。
;W?mQUo:P8  
%}}?Y`/W )  
4.2像质检测 )&s9QBo{b  
5kik+  
a)    显微物镜对目标(小孔)所成的像 `Fx+HIng,  
               QX+Xi<YE-  
cw/E?0MWb  
  b)能量集中度曲线 wA2^ I70-  
re)7h$f}  
j@s*hZ^J+  
c) 点扩散函数
8.zYa(< 2  
,v#O{ma  
5. 实物照片 T$"sw7<  
n/ZX$?tKAK  
同时可以接受根据客户需求订制特种物镜。
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最新评论

过客2014 2015-07-24 08:53
你好,请问你对准分子激光器了解吗?有一些这方面的问题想咨询一下,希望你能帮帮忙,不胜感激。我qq号:1015638865
1983pengya 2015-09-23 00:34
可以,我们本身就代理GAM的准分子激光器,请联系 QQ:75398714 E(_lm&,4+  
88VI _<  
内容来自[短消息]
京京椰树 2019-03-13 14:16
这个很厉害了
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