193nm长工作距离深紫外物镜

发布：1983pengya 2015-04-01 00:12 阅读：1866

香港弗锐达科技有限公司推出针对193nm 40x长工作距离深紫外物镜，工作距离可达1.5mm，NA：0.6.

性能参数

ITEM#	COATING	M	WD	EFL	NA	TFS	EA	L	SPOTSIZE
XWJ-40X-UV	UV	40×	1.5mm	4.4mm	0.6	1μm	5.3mm	43.5mm	1μm

注：有限远共轭 /'DsB%7g
cEd+MCN
2.外形尺寸

3.成像质量测试报告 aKJQm'9Ks

4.检测结果

4.1焦距测量 o9S+6@

焦距测量的测试波长为绿光（540nm），该波长下的显微物镜焦距为5.6mm，实测焦距为5.3mm

4.3 透过率测量 m7GR[MR

陪镀片的剩余反射率曲线

利用陪镀片进行测量，陪镀片厚度：8mm；
结果：内透过率：99.6%；零件透过率：98.4%；单面透过率：99.485%
整体透过率为94%（193nm处）。

4.2像质检测 [j:[
m&iH2|
a)    显微物镜对目标（小孔）所成的像 y&=ALx@
               g}U3y'
d@G}~&.|
  b)能量集中度曲线 )Cw`"n
k` (jkbEZ
LJTQaItdqJ
c) 点扩散函数

5. 实物照片 y tf b$;|

同时可以接受根据客户需求订制特种物镜。

分享到：

上一篇：第二次培训学习课程题目《手机镜头设 .. 下一篇：香港弗锐达科技有限公司携手KBTEM-OMO ..

关于我们网站介绍免责声明加入我们赞助我们	服务项目稿件投递广告投放人才招聘团购天下	帮助中心新手入门发帖回帖充值VIP 其它功能	站内工具清除Cookies 无图版手机浏览网站统计
				交流方式联系邮箱：商务合作站务处理微信公众号：opticsky 微信号：cyqdesign 新浪微博：光行天下OPTICSKY QQ号：9652202

帖子

193nm长工作距离深紫外物镜

最新评论

热门主题

最新话题