193nm长工作距离深紫外物镜

发布：1983pengya 2015-04-01 00:12 阅读：2312
香港弗锐达科技有限公司推出针对193nm 40x长工作距离深紫外物镜，工作距离可达1.5mm，NA：0.6. ul=7>";=|  
;'^, ,{  
性能参数 3S;N(A4  
lQL:3U0DjU  
ITEM#COATINGMWDEFLNATFSEALSPOTSIZE
XWJ-40X-UVUV40×1.5mm4.4mm0.61μm5.3mm43.5mm1μm
(u9Zk~)F  
a_{6Qdl  
注：有限远共轭 uREu2T2  
<m]wi7  
2.外形尺寸 Vo >Xp  
!F$R+A+L  
)x[HuIRaa  
nB&j   
3.成像质量测试报告 T>F9Hs  W  
 0D~=SekQ 9  
@RVOXkVo  
4.检测结果 5r7h=[N  
)$_,?*fq:  
4.1焦距测量 t !~ S9c  
 m|1n x  
!M^\f N1  
焦距测量的测试波长为绿光（540nm），该波长下的显微物镜焦距为5.6mm，实测焦距为5.3mm .`J:xL%Z  
{cR3.%wX  
4.3 透过率测量 Q1T@oxV  
 w~LU\Ct  
$:;%bjSI  
陪镀片的剩余反射率曲线
  • 利用陪镀片进行测量，陪镀片厚度：8mm；
  • 结果：内透过率：99.6%；零件透过率：98.4%；单面透过率：99.485%
  • 整体透过率为94%（193nm处）。
|7c `(.  
o_rtH|ntX5  
4.2像质检测 mgcN(n1  
q% E C  
a)    显微物镜对目标（小孔）所成的像 TGpSulg7  
               mp:m`sh*i  
.CS v|:'1  
  b)能量集中度曲线 ]nc2/S%  
]! )xr  
~6HDW  
c) 点扩散函数 sUc iFAb  
(}jL_E  
5. 实物照片 RUX8qT(Z  
 }"4roJ  
同时可以接受根据客户需求订制特种物镜。
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最新评论

过客2014 2015-07-24 08:53
你好，请问你对准分子激光器了解吗？有一些这方面的问题想咨询一下，希望你能帮帮忙，不胜感激。我qq号：1015638865
1983pengya 2015-09-23 00:34
可以，我们本身就代理GAM的准分子激光器，请联系 QQ：75398714 _:%U_U  
Yrsp%<qj  
内容来自[短消息]
京京椰树 2019-03-13 14:16
这个很厉害了
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