193nm长工作距离深紫外物镜

发布：1983pengya 2015-04-01 00:12 阅读：2406
香港弗锐达科技有限公司推出针对193nm 40x长工作距离深紫外物镜，工作距离可达1.5mm，NA：0.6. $Yw~v36`t/  
/)?qD  
性能参数 +6^hp-G7  
,kl``w|1M  
ITEM#COATINGMWDEFLNATFSEALSPOTSIZE
XWJ-40X-UVUV40×1.5mm4.4mm0.61μm5.3mm43.5mm1μm
Vo|[Z)MO`  
;hh.w??  
注：有限远共轭 <UTO\w%  
~4xn^.w  
2.外形尺寸 CBz=-Xr  
v] m`rV8S[  
kL<HGQt  
{s6hi#R>  
3.成像质量测试报告 <)"i'v $  
 1Ve~P"w  
\6pQ&an  
4.检测结果 .B'ws/%5\  
}1Q> A 5e  
4.1焦距测量 ofsLx6Po  
 sLSH`Xy?5  
j(M.7Z7^  
焦距测量的测试波长为绿光（540nm），该波长下的显微物镜焦距为5.6mm，实测焦距为5.3mm /J(~NGT  
:'[ha$  
4.3 透过率测量 $+,kibk*R  
 i@ 86Ez  
n]>L"D,  
陪镀片的剩余反射率曲线
  • 利用陪镀片进行测量，陪镀片厚度：8mm；
  • 结果：内透过率：99.6%；零件透过率：98.4%；单面透过率：99.485%
  • 整体透过率为94%（193nm处）。
( efxw  
k,ezB+  
4.2像质检测 m\_v{1g  
p<y \ ^a  
a)    显微物镜对目标（小孔）所成的像 J0o,ZH9  
               8v=t-GJW  
pIKfTkSqH  
  b)能量集中度曲线 Z2-"NB  
*Xn6yL9  
x1" 8K  
c) 点扩散函数 `3z6y& dmx  
e+?;Dc-SJ\  
5. 实物照片 L(C0236r  
 _,f7D/dq  
同时可以接受根据客户需求订制特种物镜。
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最新评论

过客2014 2015-07-24 08:53
你好，请问你对准分子激光器了解吗？有一些这方面的问题想咨询一下，希望你能帮帮忙，不胜感激。我qq号：1015638865
1983pengya 2015-09-23 00:34
可以，我们本身就代理GAM的准分子激光器，请联系 QQ：75398714 \vuWypo  
q77Iq0VR  
内容来自[短消息]
京京椰树 2019-03-13 14:16
这个很厉害了
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