193nm长工作距离深紫外物镜

发布：1983pengya 2015-04-01 00:12 阅读：2685
香港弗锐达科技有限公司推出针对193nm 40x长工作距离深紫外物镜，工作距离可达1.5mm，NA：0.6. 3db ,6R  
8|k r|l  
性能参数 =kvfe" N0e  
_~V7m  
ITEM#COATINGMWDEFLNATFSEALSPOTSIZE
XWJ-40X-UVUV40×1.5mm4.4mm0.61μm5.3mm43.5mm1μm
y)iT-$bQ  
wG;#L7%  
注：有限远共轭 9qc<m'MZ  
K%AbM#o<  
2.外形尺寸 7PQ03dtfg  
R gY-fc0  
(IdXJvKU!  
k"_i7  
3.成像质量测试报告 On x[}x  
 &)jBr^x#>  
a@( 4X/|  
4.检测结果 7<{g+Q~7*  
X"_,#3Ko!  
4.1焦距测量 l&3f<e  
 0/{$5gy&  
(gN[<QL  
焦距测量的测试波长为绿光（540nm），该波长下的显微物镜焦距为5.6mm，实测焦距为5.3mm /d;C)%$  
f Z8%Z   
4.3 透过率测量 e8T#ZWr*  
 1>hY!nG h  
4C@ .X[r  
陪镀片的剩余反射率曲线
  • 利用陪镀片进行测量，陪镀片厚度：8mm；
  • 结果：内透过率：99.6%；零件透过率：98.4%；单面透过率：99.485%
  • 整体透过率为94%（193nm处）。
h| q!Qsnj'  
6*yt^[W  
4.2像质检测 GIXxOea1  
o,o,(sII  
a)    显微物镜对目标（小孔）所成的像 A+3,y<j\  
               c@H_f  
pxm{?eBz  
  b)能量集中度曲线 R@*mMWW,  
0($@9k4!/  
M"QT(u+  
c) 点扩散函数 tQ!p<Q= $)  
dkTewT6'  
5. 实物照片 qm RdO R  
 BET3tiHV  
同时可以接受根据客户需求订制特种物镜。
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最新评论

过客2014 2015-07-24 08:53
你好，请问你对准分子激光器了解吗？有一些这方面的问题想咨询一下，希望你能帮帮忙，不胜感激。我qq号：1015638865
1983pengya 2015-09-23 00:34
可以，我们本身就代理GAM的准分子激光器，请联系 QQ：75398714 k7o49Y(#  
4<`Qyul-  
内容来自[短消息]
京京椰树 2019-03-13 14:16
这个很厉害了
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