193nm长工作距离深紫外物镜

发布：1983pengya 2015-04-01 00:12 阅读：2586
香港弗锐达科技有限公司推出针对193nm 40x长工作距离深紫外物镜，工作距离可达1.5mm，NA：0.6. FG:(H0  
+CaPF  
性能参数 &KmV tj  
DFcgUEq  
ITEM#COATINGMWDEFLNATFSEALSPOTSIZE
XWJ-40X-UVUV40×1.5mm4.4mm0.61μm5.3mm43.5mm1μm
B!4chxzUZ  
[}|x@ v9  
注：有限远共轭 &iORB  
wa5wkuS)ld  
2.外形尺寸 59 R;n.Q  
% tTL  
]MKW5Kq  
)w4i0Xw^C:  
3.成像质量测试报告 >^=up f/  
 \QGh@AQp"  
!:]CKbG  
4.检测结果 +`}QIp0  
Arc6d5Q  
4.1焦距测量 MAb*4e#  
  qr~P$  
4YX/=  
焦距测量的测试波长为绿光（540nm），该波长下的显微物镜焦距为5.6mm，实测焦距为5.3mm C-u'Me)H  
6V-u<FJ  
4.3 透过率测量 I&vD >a5#  
 z@Pv~"  
M#Kke9%2  
陪镀片的剩余反射率曲线
  • 利用陪镀片进行测量，陪镀片厚度：8mm；
  • 结果：内透过率：99.6%；零件透过率：98.4%；单面透过率：99.485%
  • 整体透过率为94%（193nm处）。
GJS3O;2*  
|qm_ESzl  
4.2像质检测 `ECY:3"$KA  
A#k(0e!O  
a)    显微物镜对目标（小孔）所成的像 = p{55dR  
               ]ie38tX$  
Sqn|  
  b)能量集中度曲线 kD;1+lNz  
Bie#GKc  
CiF(   
c) 点扩散函数 71b0MHNkvv  
0gTv:1F /  
5. 实物照片 MD|T4PPz,}  
 AS5' j  
同时可以接受根据客户需求订制特种物镜。
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最新评论

过客2014 2015-07-24 08:53
你好，请问你对准分子激光器了解吗？有一些这方面的问题想咨询一下，希望你能帮帮忙，不胜感激。我qq号：1015638865
1983pengya 2015-09-23 00:34
可以，我们本身就代理GAM的准分子激光器，请联系 QQ：75398714 ej,)< *  
%<)!]8}P*  
内容来自[短消息]
京京椰树 2019-03-13 14:16
这个很厉害了
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