精密光学元件先进测量与评价（作者：程灏波）

《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展，针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨，主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备，以及相关的测量方法和精度。 1`;,_>8  
《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章，第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式，阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理；第2～5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测；第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 9N?BWv}  
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图片:搜狗截图_2014-11-27_17-46-53.jpg

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目录 lN<,<'&^.  
前言 HRPNZ!B  
第1章绪论 .^Z^L F  
1.1概述 mnwYv..ePz  
1.2光学元件质量评价 W%)uKQha  
1.2.1表面质量评价 3Xun>ZQ-  
1.2.2亚表面质量评价
_ zh>q4M  
1.3干涉测量基础知识
~jqG  
1.3.1干涉原理  YjV-70'  
1.3.2典型干涉测量结构 JDIQpO"Qji  
第2章子子L径拼接轮廓测量 :YAxL J  
2.1概述 ?\e
q!bu  
2.2圆形子孔径拼接 >*5+{~k~4  
2.2.1拼接原理 %S2^i3  
2.2.2拼接算法 BgzER[g|q{  
2.3环形子孔径拼接 Bx>)i8P7i0  
2.3.1孔径划分 [ NSsT>C  
2.3.2拼接原理 Xg](V.B6  
2.3.3拼接算法 <}^W9>u<  
2.4广义子孔径拼接 FzD
Z<dJ  
2.4.1广义环形子孔径拼接算法 D9#?l<D  
2.4.2计算机模拟 u)DhkF|  
2.5子孔径拼接优化算法 '_~X(izc  
2.5.1调整误差分量及其波像差 ZW]Q|vPh4U  
2.5.2环形子孔径拼接优化模型 :[#~,TW  
2.5.3仿真研究 x}w"2[fL  
2.6测量系统 D~;hIt*  
2.6.1SSI—300子孔径检测平台 Pmj]"7Vd[  
2.6.2实验研究 tPT\uD#t  
2.7超大口径拼接检测 @Gs*y1  
2.7.1方案设计 X>n\@rTo  
2.7.2拼接算法 Ew4>+o!  
2.8小结 rb/m;8v>  
参考文献 Qo4+=^(  
第3章接触式轮廓测量 p8>.Q/4  
3.1概述 Al^n&Aa+\  
3.2测量理论基础 pP4i0mO{Dv  
3.2.1测量原理 @aG1PG{  
3.2.2坐标系和坐标变换 /ry#q%?  
3.2.3检测路径 H$:Z`CQt<  
3.2.4二次曲面系数研究 6z^Kg~a  
3.2.5离轴镜测量模型 5$r`e+Nf'  
3.3测量系统 Y4%Bx8  
3.3.1测头系统 v;E7UL .w  
3.3.2系统设计 d(>7BV  
3.4误差分析 |P_\l,f8`  
3.4.1误差源分类 =:+k  
3.4.2固有误差 Xwg|fr+p  
3.4.3随机调整误差 \iQD\=o  
3.4.4接触力诱导误差 OHqc,@a;+  
3.4.5高阶像差误差分析 'L*nC T;  
3.5小结 vrtK~5K  
参考文献 ;;zKHS  
第4章结构光轮廓测量 BReNhk)S  
4.1概述 05(lh<C  
4.2基于结构光原理的测量方法 }l
zyl*.  
4.2.1傅里叶变换轮廓术 Y",Fs(  
4.2.2相位测量轮廓术 vG(Gs=.U  
4.2.3莫尔测量轮廓术 Y$%/H"1bk  
4.2.4卷积解调法 Md \yXp  
4.2.5调制度测量轮廓术 })V9d  
4.3测量系统及其标定 q16RPqfT  
4.3.1结构光三维测量系统 w_po5[]R  
4.3.2系统参数标定 {x $H#<Y  
4.3.3快速标定方法 G?LPj*=$?  
4.4位相展开算法 wVvk{tS  
4.4.1位相展开的基本原理 (C#9/WO?  
4.4.2空间位相展开方法 mPNT*pAO  
4.4.3时间位相展开方法 &qki NS  
4.4.4光栅图像采集与预处理 &zsaVm8  
4.5测量误差分析 %nJ^0X_]  
4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 K~A$>0c  
4.5.2非线性误差矫正方法 L\||#w   
4.6小结 l`L}*Q- 5  
参考文献 )5Ddvz>+  
第5章亚表面损伤检测 )
bZS0f-  
5.1概述 6!} @vp![  
5.2亚表面损伤产生机理与表征 =T)4Oziks  
5.2.1产生机理 huu:z3{=J  
5.2.2表征方法 Zx(VwB2   
5.3亚表面损伤检测技术 0>Y3>vwSl  
5.3.1破坏性检测 6(4FC?Y7  
5.3.2非破坏性检测 4K82%P9a  
5.4工艺试验 B\a-Q,Wf  
5.4.1亚表面损伤的测量 -LL49P6  
5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 } h|1H  
5.4.3损伤抑制策略 #C1u~db  
5.5小结 8kQ >M  
参考文献 $m`?x5rL8  
第6章其他测量技术 o5gt`H"  
6.1移相干涉测量技术 Z 6^AO=3  
6.2动态干涉测量技术 D 8^wR{-;J  
6.3剪切干涉 WJ$D]7  
6.4点衍射干涉 SwV{t}I  
6.5白光干涉测量技术  4I7}  
6.6外差干涉测量技术 +E7s[9/r  
6.7补偿法检测非球面 '~RP+  
6.8计算全息法检测非球面 T]d9tX-  
参考文献 V6Kw71'9  
文摘 Q=lQy  
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