精密光学元件先进测量与评价（作者：程灏波）

《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展，针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨，主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备，以及相关的测量方法和精度。 ;tQ(l%!  
《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章，第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式，阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理；第2～5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测；第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 _>ZC;+c?  
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目录 }Xfg~%6  
前言 $B7c\MR j  
第1章绪论 l(Dr@LB~  
1.1概述 9yaTDxB>  
1.2光学元件质量评价 WP?]"H  
1.2.1表面质量评价 -<9Qez)y  
1.2.2亚表面质量评价 +~ Hb}0ry  
1.3干涉测量基础知识 /nsBUM[;  
1.3.1干涉原理 -%| ] d ;  
1.3.2典型干涉测量结构 Bex;!1  
第2章子子L径拼接轮廓测量 `\|t
Xl.  
2.1概述 BMI`YGjY1  
2.2圆形子孔径拼接 v 2p  
2.2.1拼接原理 WrcmC$ff  
2.2.2拼接算法 ^$}O?y7O  
2.3环形子孔径拼接 <VSB!:ew  
2.3.1孔径划分 q*5L",  
2.3.2拼接原理 zA}JVB  
2.3.3拼接算法 kvuRT`/  
2.4广义子孔径拼接 :y`LF<  
2.4.1广义环形子孔径拼接算法 @$!6u0x  
2.4.2计算机模拟 H-nhq-fut  
2.5子孔径拼接优化算法 }EYmz/nN  
2.5.1调整误差分量及其波像差 y10W\beJ  
2.5.2环形子孔径拼接优化模型 .c&&@>m@.  
2.5.3仿真研究 (F 9P1Iq  
2.6测量系统 tzfyS#E  
2.6.1SSI—300子孔径检测平台 e$_gOwB  
2.6.2实验研究 _KKux3a  
2.7超大口径拼接检测 YtKT3u:x  
2.7.1方案设计 |d-x2M[  
2.7.2拼接算法 }h1LH4  
2.8小结 mdyl;e{0  
参考文献 #d3_7rI0V  
第3章接触式轮廓测量 QH4m7M@ni  
3.1概述 *0Z6H-Do,  
3.2测量理论基础 SXYwhID=  
3.2.1测量原理 1LSJy*yY  
3.2.2坐标系和坐标变换 )Ute
 
3.2.3检测路径 wr:W}Z@pL  
3.2.4二次曲面系数研究 XR9kxTuk  
3.2.5离轴镜测量模型 `?.6}*4@_A  
3.3测量系统 qoH:_o8ClO  
3.3.1测头系统 9M'"q7Kh  
3.3.2系统设计 0TA8#c  
3.4误差分析 1Az&BZU[  
3.4.1误差源分类 & wtE"w  
3.4.2固有误差 m1jEky(  
3.4.3随机调整误差 :RukW.MR  
3.4.4接触力诱导误差 2;*G!rE&*`  
3.4.5高阶像差误差分析 t#_6GL  
3.5小结 EtPB_! +  
参考文献 =liyd74%`  
第4章结构光轮廓测量 _<jU! R  
4.1概述 |v@_~HV
 
4.2基于结构光原理的测量方法 BTj1C  
4.2.1傅里叶变换轮廓术 ~PQR_?1  
4.2.2相位测量轮廓术 r>|S4O  
4.2.3莫尔测量轮廓术 ": BZZ\!  
4.2.4卷积解调法 h$$JXf  
4.2.5调制度测量轮廓术 x9\{a  
4.3测量系统及其标定 xi.?@Lff
 
4.3.1结构光三维测量系统 l l*g *zt3  
4.3.2系统参数标定 M,p0wsj;  
4.3.3快速标定方法 jg'"?KSU~  
4.4位相展开算法 Qi dI  
4.4.1位相展开的基本原理 17c`c.yP  
4.4.2空间位相展开方法 8YE4ln  
4.4.3时间位相展开方法 Fje /;
p  
4.4.4光栅图像采集与预处理 .@+M6K*  
4.5测量误差分析 0S;Ipg  
4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 f%t N2k  
4.5.2非线性误差矫正方法 ~N| aCi-X  
4.6小结 i( +Uvtgs  
参考文献 9}2/ko  
第5章亚表面损伤检测 7Dl^5q.|  
5.1概述 %rnRy<9  
5.2亚表面损伤产生机理与表征 R\n@q_!`X  
5.2.1产生机理 <_pLmYI  
5.2.2表征方法 9;vES^  
5.3亚表面损伤检测技术 :jkPV%!~  
5.3.1破坏性检测 |B$JX'_  
5.3.2非破坏性检测 +/%4E %  
5.4工艺试验 7^Us  
5.4.1亚表面损伤的测量 -{JReplc  
5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 5N6R%2,A  
5.4.3损伤抑制策略 0QquxYYw,  
5.5小结 qFDy)4H)  
参考文献 f>mEX='w  
第6章其他测量技术 \8a014  
6.1移相干涉测量技术 ? N]bFW"t|  
6.2动态干涉测量技术 -:L7iOzgD  
6.3剪切干涉 !IC .0I`  
6.4点衍射干涉 wRwx((eb  
6.5白光干涉测量技术 j!Ys/D  
6.6外差干涉测量技术 Bs`='w%7  
6.7补偿法检测非球面 i>G:*?a  
6.8计算全息法检测非球面 0e]J2>  
参考文献 1 rbc}e  
文摘 F$JA IL{W  
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