精密光学元件先进测量与评价（作者：程灏波）

《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展，针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨，主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备，以及相关的测量方法和精度。 74f9|~%  
《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章，第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式，阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理；第2～5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测；第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 -DCa   
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图片:搜狗截图_2014-11-27_17-46-53.jpg

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目录 *aRX \TnN  
前言 re`t ]gzb  
第1章绪论 CW`
!}yu%  
1.1概述 Z0*%Rq  
1.2光学元件质量评价 N wtg%;  
1.2.1表面质量评价 Hg+ F^2<y  
1.2.2亚表面质量评价 .'d2J>~N  
1.3干涉测量基础知识 Fm3t'^SqF  
1.3.1干涉原理 XYfv(y  
1.3.2典型干涉测量结构 61@EDIYPc  
第2章子子L径拼接轮廓测量 +S9PML){h  
2.1概述 .:9s}%Zr  
2.2圆形子孔径拼接 O3qM1-k}S  
2.2.1拼接原理 4l @)K9F  
2.2.2拼接算法 |/T43ADW  
2.3环形子孔径拼接 fdv`7u+}a  
2.3.1孔径划分 f
/y`  
2.3.2拼接原理 ][7p+IsB  
2.3.3拼接算法 ?WFh',`:  
2.4广义子孔径拼接 |W7rr1]~S  
2.4.1广义环形子孔径拼接算法 cdTsRS;E  
2.4.2计算机模拟 s'u(B]E  
2.5子孔径拼接优化算法 p]ivf  
2.5.1调整误差分量及其波像差 ln<]-)&C  
2.5.2环形子孔径拼接优化模型 z$[C#5+2  
2.5.3仿真研究 Bs!4H2@{(]  
2.6测量系统 1RqgMMJL  
2.6.1SSI—300子孔径检测平台 ao$.6X8fQ  
2.6.2实验研究 2UadV_s+s  
2.7超大口径拼接检测 r;m`9,RW  
2.7.1方案设计 2Z/K(J"&J  
2.7.2拼接算法 'q{733o  
2.8小结 `xz&Scil  
参考文献 lA;a  
第3章接触式轮廓测量 xf,5R9g/  
3.1概述 + WDq=S  
3.2测量理论基础 i::\Z$L";i  
3.2.1测量原理 %b}gDWs  
3.2.2坐标系和坐标变换 s;1h-Oq(  
3.2.3检测路径 d,cN(  
3.2.4二次曲面系数研究 WsOi,
oG@  
3.2.5离轴镜测量模型 9|
WV~  
3.3测量系统 B0Xl+JIR#  
3.3.1测头系统 :c]`D>  
3.3.2系统设计 ,
)fkr]`<  
3.4误差分析 ~<9{#uM  
3.4.1误差源分类 K@:m/Z}|4  
3.4.2固有误差 z@VP:au  
3.4.3随机调整误差 Fn|gVR  
3.4.4接触力诱导误差 <{J5W6  
3.4.5高阶像差误差分析 w4:\N U  
3.5小结 jC, FG'P  
参考文献 <4`eQ
 
第4章结构光轮廓测量 *}!MOqP  
4.1概述 eon!CE0  
4.2基于结构光原理的测量方法 *"{&FEV  
4.2.1傅里叶变换轮廓术 KfY$ka[}"S  
4.2.2相位测量轮廓术 -kj
< 1~YW  
4.2.3莫尔测量轮廓术 C"w {\ &R  
4.2.4卷积解调法 Pz"`MB<'Ik  
4.2.5调制度测量轮廓术 t?)pl2!A  
4.3测量系统及其标定 TMVryb  
4.3.1结构光三维测量系统 @aG&n(.!u*  
4.3.2系统参数标定 xN"Z1n7t  
4.3.3快速标定方法 C+V* Fh3  
4.4位相展开算法 M>H=z#C>/A  
4.4.1位相展开的基本原理 b
.yh8|&  
4.4.2空间位相展开方法 0b|zk <  
4.4.3时间位相展开方法 }_OM$nzj  
4.4.4光栅图像采集与预处理 #-#NqX:  
4.5测量误差分析

=XY
]x  
4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 GdmmrfXB  
4.5.2非线性误差矫正方法 ;/8{N0  
4.6小结 ;%!m<S|%k  
参考文献 p@Q5b}xCG_  
第5章亚表面损伤检测 v3RcwySk  
5.1概述 e [0w5)X   
5.2亚表面损伤产生机理与表征
@y|_d  
5.2.1产生机理 ` %?9=h%  
5.2.2表征方法 D!LX?_cD1i  
5.3亚表面损伤检测技术 I9y.e++/  
5.3.1破坏性检测 H7g< p"  
5.3.2非破坏性检测 F?4(5 K  
5.4工艺试验 Ob<W/-%5tH  
5.4.1亚表面损伤的测量 F # YPOH  
5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 Iw=Sq8  
5.4.3损伤抑制策略 @xWdO,#  
5.5小结 HZ"Evl|n  
参考文献 o'V
%EQ  
第6章其他测量技术 QLq@u[A  
6.1移相干涉测量技术 A.%CAGU5w  
6.2动态干涉测量技术 d^Di*&X  
6.3剪切干涉 &xSa7FY  
6.4点衍射干涉
0tz:Wd*<  
6.5白光干涉测量技术 g"8 .}1)~r  
6.6外差干涉测量技术 {pa
dD p  
6.7补偿法检测非球面 ~6[*q~B  
6.8计算全息法检测非球面 ~Gv#iRi>  
参考文献 b=PVIZ  
文摘 }iN2KeLAF  
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