精密光学元件先进测量与评价（作者：程灏波）

《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展，针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨，主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备，以及相关的测量方法和精度。 W*G<X.Hf  
《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章，第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式，阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理；第2～5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测；第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 Nboaf  
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前言 atzX
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第1章绪论 |BYRe1l6l  
1.1概述 @9:uqsL  
1.2光学元件质量评价 O&&~NXI\  
1.2.1表面质量评价 kf9X$d6   
1.2.2亚表面质量评价 wM{s|Ay  
1.3干涉测量基础知识 
@+DX.9  
1.3.1干涉原理 I 6O  
1.3.2典型干涉测量结构 1Ws9WU  
第2章子子L径拼接轮廓测量 MfkZ  
2.1概述 =lSNs  
2.2圆形子孔径拼接 ~Gw*r\\+  
2.2.1拼接原理 #z42C?V  
2.2.2拼接算法 a.Vuu)+Quw  
2.3环形子孔径拼接 <Z$J<]I  
2.3.1孔径划分 m+9#5a-  
2.3.2拼接原理 X{VOAcugr  
2.3.3拼接算法 .]Z"C&"N]  
2.4广义子孔径拼接 k=^xVQuI  
2.4.1广义环形子孔径拼接算法  lRQYpc\  
2.4.2计算机模拟 2zpr~cB=  
2.5子孔径拼接优化算法 ,,T
nIouy  
2.5.1调整误差分量及其波像差 M%#e1"n  
2.5.2环形子孔径拼接优化模型 Va8&Z  
2.5.3仿真研究 x^CS"v7  
2.6测量系统 `h;[TtIX4  
2.6.1SSI—300子孔径检测平台 -qoH,4w  
2.6.2实验研究 AwN!;t_0+N  
2.7超大口径拼接检测 [-&Zl(9&  
2.7.1方案设计 pot~<d`:K"  
2.7.2拼接算法 Mihg:  
2.8小结 `X8F`5&U\f  
参考文献 w =KPT''!  
第3章接触式轮廓测量 GthYzd:'hJ  
3.1概述 "#48% -'x  
3.2测量理论基础 M3AXe]<eC1  
3.2.1测量原理 Ss`LLq0LO  
3.2.2坐标系和坐标变换 I@3MO0V^  
3.2.3检测路径 ite~E5?#  
3.2.4二次曲面系数研究 28nFRr  
3.2.5离轴镜测量模型 G&dKY h\  
3.3测量系统 W9)&!&<
o  
3.3.1测头系统 pJ{Y lS{  
3.3.2系统设计 i9$ Av  
3.4误差分析 r :dTz  
3.4.1误差源分类 E_`=7i  
3.4.2固有误差 &wX]_:?  
3.4.3随机调整误差 T;#FEzBz  
3.4.4接触力诱导误差 uw7zWJ n  
3.4.5高阶像差误差分析 ;Xw~D_uv  
3.5小结 54/=G(F  
参考文献 IK]d3owA  
第4章结构光轮廓测量 <uJ@:oWG7  
4.1概述 ctUp=po  
4.2基于结构光原理的测量方法 <QvOs@i*  
4.2.1傅里叶变换轮廓术 Mfs?x a  
4.2.2相位测量轮廓术 <}
LC~B!  
4.2.3莫尔测量轮廓术 j#6.Gq  
4.2.4卷积解调法 dRDnJc3  
4.2.5调制度测量轮廓术 U6VKMxSJ  
4.3测量系统及其标定 ME dWLFf  
4.3.1结构光三维测量系统 S[N5 i
kg  
4.3.2系统参数标定 #
b`ke/P  
4.3.3快速标定方法 u4j5w  
4.4位相展开算法 b]y2+A.
n  
4.4.1位相展开的基本原理 M?qy(zb  
4.4.2空间位相展开方法 M`>E|"<  
4.4.3时间位相展开方法 % `3jL7|  
4.4.4光栅图像采集与预处理 "]dI1 g_  
4.5测量误差分析 ]{iQ21`a-  
4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 f<H2-
(m  
4.5.2非线性误差矫正方法 HP=+<]?{G  
4.6小结 MJvp6n  
参考文献 &NWEqBz*2  
第5章亚表面损伤检测 nK,w]{<wG!  
5.1概述 PM+[,H  
5.2亚表面损伤产生机理与表征 =fbWz  
5.2.1产生机理 o@Oqm>]SS  
5.2.2表征方法 ise-O1'  
5.3亚表面损伤检测技术 kFB  
5.3.1破坏性检测 YMgNzu  
5.3.2非破坏性检测 _LPHPj^Pg  
5.4工艺试验 6pzSp  
5.4.1亚表面损伤的测量 yw!{MO  
5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 9UkBwS`  
5.4.3损伤抑制策略 7"mc+QOp  
5.5小结 dscgj5b1~  
参考文献 OnK4] S5  
第6章其他测量技术 <N)oS-m>  
6.1移相干涉测量技术 T|p"0b A  
6.2动态干涉测量技术 ""H?gsL[  
6.3剪切干涉 q@&6#B  
6.4点衍射干涉 H.c7Nle  
6.5白光干涉测量技术 u"8yK5!  
6.6外差干涉测量技术 '7/)Ot(  
6.7补偿法检测非球面 *fdTpXa  
6.8计算全息法检测非球面 n ;Ei\\p!  
参考文献
Gq6*SaTk  
文摘 Th%zn2R B  
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