精密光学元件先进测量与评价(作者:程灏波)

发布:cyqdesign 2014-11-27 17:42 阅读:3566
《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展,针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨,主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备,以及相关的测量方法和精度。 d>  Y9g  
《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章,第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式,阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理;第2~5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测;第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 _p7c<$ ;  
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W*-+j*e|_P  
目录 -U"(CGb5  
前言 ?`,UW;Br6  
第1章绪论 I2%{6g@  
1.1概述 sxl29y^*  
1.2光学元件质量评价 ,jbj-b(  
1.2.1表面质量评价 rjQV;kX>  
1.2.2亚表面质量评价 }9>W41  
1.3干涉测量基础知识 +=Crfvt  
1.3.1干涉原理 j,Qp*b#Qo  
1.3.2典型干涉测量结构 lW?}jzuo  
第2章子子L径拼接轮廓测量 sBq @W4  
2.1概述 FbJlyWND  
2.2圆形子孔径拼接 W:b8m Xx  
2.2.1拼接原理 ,S:LhgSP  
2.2.2拼接算法 a7nbGqsx  
2.3环形子孔径拼接 k%/Z.4vQG  
2.3.1孔径划分 vz,l{0 v  
2.3.2拼接原理 V;~W,o!  
2.3.3拼接算法 Jp xJZJ  
2.4广义子孔径拼接 (5;w^E9*n;  
2.4.1广义环形子孔径拼接算法 Wze\z  
2.4.2计算机模拟 >Rjk d>K3  
2.5子孔径拼接优化算法 -O\!IXG^  
2.5.1调整误差分量及其波像差 lz faW-nu  
2.5.2环形子孔径拼接优化模型 ]gHw;ry  
2.5.3仿真研究 d"Hh9O}6  
2.6测量系统 Cz+>S3v M  
2.6.1SSI—300子孔径检测平台 B:a&)L wp0  
2.6.2实验研究 PE|_V  
2.7超大口径拼接检测 :|M0n%-X  
2.7.1方案设计 }9aYU;9D  
2.7.2拼接算法 Q~#udEajI  
2.8小结 &2Q4{i  
参考文献 HzF  
第3章接触式轮廓测量 7P?z{x':T  
3.1概述 {b"V7vn,  
3.2测量理论基础 ON~SZa  
3.2.1测量原理 pz6fL=Xd  
3.2.2坐标系和坐标变换 bf-.SX~  
3.2.3检测路径 O2q`2L~  
3.2.4二次曲面系数研究 `Ou\:Iz0u  
3.2.5离轴镜测量模型 lSUEE0V%Q  
3.3测量系统 :xm, Ok  
3.3.1测头系统 8{8J(~  
3.3.2系统设计 C!]hu)E  
3.4误差分析 \&`S~cV9  
3.4.1误差源分类 x/#* M  
3.4.2固有误差 u= 5&e)v3  
3.4.3随机调整误差 0ym>Hbax)  
3.4.4接触力诱导误差 `-"2(Gp  
3.4.5高阶像差误差分析 5yI_uQR  
3.5小结 xJa  
参考文献 7MZBU~,r  
第4章结构光轮廓测量 !0CC&8C`  
4.1概述 3u^U\xB  
4.2基于结构光原理的测量方法 DFQp<Eq]7  
4.2.1傅里叶变换轮廓术 Cz-eiPlq  
4.2.2相位测量轮廓术 B?`Gs^Y {z  
4.2.3莫尔测量轮廓术 A7 qyv0F  
4.2.4卷积解调法 -Id4P _y  
4.2.5调制度测量轮廓术 6.ASLH3#  
4.3测量系统及其标定 B+#!%J_  
4.3.1结构光三维测量系统 NBwxN  
4.3.2系统参数标定 NGOc:>}k>  
4.3.3快速标定方法 d`5xd@p  
4.4位相展开算法 ) gYsg  
4.4.1位相展开的基本原理 P hs4]!  
4.4.2空间位相展开方法 CH[U.LJQ-O  
4.4.3时间位相展开方法 "-88bF~  
4.4.4光栅图像采集与预处理 0/S|h"-L  
4.5测量误差分析 5 >S #ew  
4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 SMY,bU'a  
4.5.2非线性误差矫正方法 LuM:dJ  
4.6小结 ?n)d: )Ud"  
参考文献 NGcd  
第5章亚表面损伤检测 _dky+ E  
5.1概述 -~ \R.<+  
5.2亚表面损伤产生机理与表征 ~[l6;bn  
5.2.1产生机理 b R> G%*a  
5.2.2表征方法 VNBf2Va  
5.3亚表面损伤检测技术  S<#>g s4  
5.3.1破坏性检测 dQT A^m  
5.3.2非破坏性检测 {VtmQU? cJ  
5.4工艺试验 epuN~T  
5.4.1亚表面损伤的测量 Ri=:=oF(  
5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联  +:k Iq  
5.4.3损伤抑制策略 Sio^FOTD  
5.5小结 |ZZl3l=]  
参考文献 F7P?*!dx  
第6章其他测量技术 Hof@,w  
6.1移相干涉测量技术 W/DSj :  
6.2动态干涉测量技术 : 8dQ8p;  
6.3剪切干涉 XHs>Q>`  
6.4点衍射干涉 +z}O*,M"q  
6.5白光干涉测量技术 s.7\?(Lg  
6.6外差干涉测量技术 @SeInew;`l  
6.7补偿法检测非球面 "Zm**h.t  
6.8计算全息法检测非球面 B3|h$aKC  
参考文献 b* k=  
文摘 5x856RQ'  
1W3+ng  
关键词: 光学元件
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最新评论

蜗牛2013 2015-01-24 22:36
谢谢!
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