案例:LED和准分子激光的匀滑和整形

发布:piaodongdewo 2014-10-28 13:33 阅读:1497
案例:LED和准分子激光的匀滑和整形
功能
需要的工具箱
基本
光栅
衍射光学
照明
;Y$>WKsV  
微光学元件的分析和设计
_h~ksNm5u  
透镜阵列
Q+ ^ &  
~#A}=, 4>  
8Xot ly  
G%<}TI1}  
Az`Aa0h]7  
蝇眼聚光镜
T{k P9 4  
s[yWBew  
G*fo9eu5$  
GM%+yS}(P  
hmO2s/~  
衍射扩散器
/ (&E  
r ]DiB:.  
`@~e<s`j  
E.oJ[;  
{ez $kz  
单元阵列    光栅单元阵列
&S,D;uhF  
Jz}nV1G(jz  
$MQ}+*Wr  
Ps!MpdcL3  
B0fOAP1  
            棱镜单元阵列
 +$dJA  
J D\tt-  
RP4/:sO  
yn4T!r "  
B$4*U"tk  
            反射镜单元阵列
N:1aDr;  
?\}Gi(VVE  
nw+~:c  
RgJ@J/p"  
[ GLH8R  
DOE产生的光分布
kRp]2^}\s\  
高帽
Kc/1LeAik  
RLmOg{L  
8+zW:0"[  
]?eZDf~  
&`"DG$N(  
平顶
LW %AZkAx  
|Wh3a#  
{f/qI`  
oxwbq=a6yV  
m|a9T#B(  
焦线
t un}rdb  
t&r.Kf9Z\  
"HMEoZ  
Rn1oD3w  
/sE,2X*BT  
二元二维强度分布
eA/n.V$z  
Av X1*  
/F*Y~>*% 1  
R=D]:u<P  
Wh[QR-7Ew  
任意二维强度分布
NVyBEAoh  
=$>=EBH,cm  
`KJ( .m  
#lYyL`B+~  
k s40 5  
点阵
i! .]U@{k  
cG|fau<G  
wwUI ;g  
#EzBB*kP  
6x+ujUBkK  
点线
i'>6Qo  
3uL f0D  
0YH5B5b  
-t`kb*O3`  
<_EKCk  
整形和匀滑
 N5 ME_)  
单色LED
OgQd yU  
rTPgHK]?l  
W5*ldXXk  
K$"#SZEi  
AjzTszByu  
白光LED
tpfgUZ{  
*t@A-Sn  
]vrZGX a+  
HiCh:IP7>/  
&D, Iwq  
准分子激光
2qMiX|Y  
inP2y?j  
222 Y?3>@D  
Y },E3<  
[FFr}\}bY  
常见光束整形推荐使用的工具箱
*ap,r&]#F  
推荐的工具箱
/6x&%G:m#  
!09)WtsEfx  
i8iT}^  
z0"t]4s  
4TtC~#D:  
优化
j=WxtMS  
局部和全局参数优化
u]^ s2v  
:F(4&e=w  
ZmA}i`  
,Qj G|P  
``MO5${  
使用参数运行的全局优化
crmQn ^4\  
-amo8V;2H  
!)s(Lv%]  
)aS:h}zn  
i~@gI5[k+  
迭代傅里叶变换算法(IFTA
-&+:7t  
bnxp[Qk|5  
,=/9Ld2w9  
7?.uAiM'zT  
~ 9>H(c  
单元阵列设计算法
<=(K'eqC^  
5 jrR]X  
ZO+RE7f*?c  
lhUGo =  
a>4/2#J  
公差仿真
Xdvd\H=  
高度公差
7HkO:/  
eI8o#4nT  
}m:paB"3  
$^x=i;>aK.  
l@`k:?  
掩膜蚀刻深度公差
 f<o|5r  
rZKh}E  
1+%UZK= K  
9z,sn#-t  
,&[o:jTk  
边缘圆滑模拟
2&hv6Y1  
Ha v&vV  
Np\NStx2  
Yy~x`P'g!  
GSA+A7sZ  
对准误差
+17!v_4^  
3.Fko<D4jD  
F|%PiC,,qO  
G|cjI*  
{O+T`; =)L  
波长误差
g *5_m(H  
<IrhR,@M,L  
VL#:oyWA  
wgz]R  
!t%1G.  
远场和近场分布的变化
f6r!3y  
L15)+^4n  
`E~"T0RX  
1^_W[+<S/  
Z~:)hwF  
由参数运行产生的实验系列
m"L^tSD~  
}B%9cc  
rtPo)#t  
=svFw&q"  
[I;C 6p  
加工数据的导出
yLRe'5#m  
GDSII文件
/#9P0@Y  
F=\ REq  
D;sG9Hky  
uh\G6s!4/  
uQG|r)  
CIF文件
=Ti!9_~  
W@!qp  
mJ%^`mrI  
>{AE@@PB^  
IlJ"t`Z9)  
位图文件
u ?V}pYX  
!\b-Ot(  
\7\sx:!$  
0MpW!|E  
o0WwlmB5  
ASCII/.csv文件
-axKnfj  
E}Cz(5  
Zx8$M5  
5$i(f8*  
i59 }6u_f  
Point-Cloud文件
F=5+JjrX  
E2|M#Y  
=LGM[Z3$s  
KXZ G42w  
ts=D  
STL文件
JbEEI(Q>g  
k8G4CFg}wP  
=lv(  
R(t%/Hvs$  
5VE=Oo#&  
蚀刻掩膜的计算
rvx2{1}I  
zMepF]V  
"IS; o o$g  
ZXLAX9|  
'7' 73  
自定义
H/t0#  
可编程元件
H-t$A, [  
 }<kl3{)  
75>%!mhM  
em7L `,  
j7d^g a-`  
可编程探测器
: xg J2  
J+CGhk  
'h ?  
,&Zp^  
I3Co   
可编程光源
krGIE}5  
CUB;0J(  
J3+qnT8X  
yl*%P3m|  
9~^k3!>0  
MATLAB可编程界面
Obu 6k[BE.  
qAp <OJ  
.`*;AT  
6x5Q*^w  
:bo2H[U+  
C#可编程界面
ZT"vVX- )G  
GRpwEfG  
{Mo[C%  
Nnn~7  
0^L:`[W+  
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