案例:LED和准分子激光的匀滑和整形

发布:piaodongdewo 2014-10-28 13:33 阅读:1481
案例:LED和准分子激光的匀滑和整形
功能
需要的工具箱
基本
光栅
衍射光学
照明
Gf<f#.5y ,  
微光学元件的分析和设计
tDWoQ&z2t_  
透镜阵列
!pJd^|4A]  
EX"o9'  
woyn6Z1JQ  
hBRcI0R  
HI\V29 a  
蝇眼聚光镜
z%lLbKSe  
S4O'N x  
:P/0"  
Rlwewxmr  
 I?R?rW  
衍射扩散器
YJm64H,[  
(8Inf_59  
O[<YYL 0  
1}/37\  
p|0ZP6!|  
单元阵列    光栅单元阵列
9er0Ww.d  
B;Dl2k^L  
:k/Z|  
a<CJ#B2K  
QLLMSa+! \  
            棱镜单元阵列
}trQ<*D  
>c30kpGg  
>HRL@~~Z  
\ $Q?  
v/G)E_  
            反射镜单元阵列
{8e4TD9E0  
\R|qXB $  
phP%  
kP[LS1}*  
#>_5PdO  
DOE产生的光分布
e13' dCG  
高帽
;=lQMKx0  
z/P^Bx]r  
"?Yf3G:\0  
qBF}-N_  
)u>/:  
平顶
bFB.hkTP  
 YF$nL(  
_%@ri]u{ov  
m ?#WQf  
9R3YUW}s  
焦线
20`QA u)'  
8dlhL8#  
?656P=b)  
bZCNW$C3l  
,tl(\4n  
二元二维强度分布
d Z P;f^^  
6QX2&[qWS  
58[.]f~0  
fD~f_Wr  
u,`cmyZ  
任意二维强度分布
Xu%8Q?]  
!)HB+yr  
Ocf:73t  
HSlAm&Y\  
9/dI 6P7  
点阵
XLj|y#h  
4O '%$6KR(  
rOTxD/  
PNRZUZ4Z|  
-:|t^RM;FT  
点线
HImQ.y!B  
H|s,;1#  
!~-@p?kW/  
!CUX13/0  
c3!YA"5  
整形和匀滑
b>'y[P!  
单色LED
SGUZ'}  
f19'IH$n{  
5K {{o''  
I9hZ&ed16  
 Fm`c  
白光LED
(3QG  
<]'1YDA  
!"bU|a  
Ybp';8V  
VL8yL`~zc.  
准分子激光
 li  
cjc1iciZ  
#OVS]Asn}  
]?UK98uS\A  
cb`ik)=K%  
常见光束整形推荐使用的工具箱
9k3RC}dEr  
推荐的工具箱
Ct9dV7SH  
E#(dri*#t  
VdF<#(X+  
i ?]`9z  
x2Dg92  
优化
+J  <<me4  
局部和全局参数优化
uTRFeO>  
p(pL"  
k'PNfx\K  
u$nYddak  
o>@9[F,h+  
使用参数运行的全局优化
C>Cb  
e8VtKVcY  
A?ij  
y/OPN<=*  
/<)kI(gf  
迭代傅里叶变换算法(IFTA
' qN"!\  
K%(DRkj)  
SoNT12>  
o`~ %}3  
U{Moyj  
单元阵列设计算法
uM@ve(8\  
xF7q9'/F  
i~uoK7o|G  
TA>28/U#  
A)641"[  
公差仿真
2F|06E'  
高度公差
`Uy4>?  
4<q'QU#l<  
MznMt2-u  
UCI !>G  
3#~w#Q0%  
掩膜蚀刻深度公差
y({EF~w  
,]Q i/m  
&ngG_y8}&  
Ct0YwIR*  
TY]-L1$  
边缘圆滑模拟
ILMXWw  
5<mGG;F  
WQ)vu&;  
\4"01:u'  
T Y*uK  
对准误差
fSw6nEXn  
~v^I*/uY  
D5jZ;z}  
]hjA,p@Q  
%G/j+Pf  
波长误差
zj UT:#(k  
P= nu&$;  
XWYLa8Ef  
q.Vcb!*$  
l t{yo\  
远场和近场分布的变化
UQ.DKUg  
))eQZ3ap9  
XS`=8FQ  
g"|Z1iy|9  
Oj0,Urs7  
由参数运行产生的实验系列
N]7#Q.(~  
Y0ouLUlI  
RAi]9`*7  
,c.(&@  
XpoEZ|0  
加工数据的导出
@zAav>  
GDSII文件
J>%uak<  
oC >l|?h,  
3v@Y"I3;  
/I@Dv?  
cH{[\F"Eb  
CIF文件
- A)XYz  
_MST8  
s7G!4en  
qTi%].F"G  
2%gLq  
位图文件
;1Zz-@  
,BuEX#ZaBl  
:iVEm9pB)  
Df_*W"(v  
x9B5@2J1  
ASCII/.csv文件
C|H/x\?zRv  
,V{Cy`bi  
)9? ^;HS  
CZ.XEMN\  
R@Bnrk  
Point-Cloud文件
l>iE1`iL<  
'Nn>W5#))  
Kta7xtu  
<Q|(dFr`v  
?VP07 dQTe  
STL文件
tG}cmK~%  
>+ E  
aK4ZH}XHE"  
H6/C7  
 1@p'><\  
蚀刻掩膜的计算
Ub9p&=]h  
o u*`~K|R  
H<wrusRg  
ds|L'7  
|T;NoWO+  
自定义
t,>j{SK~  
可编程元件
"+GKU)  
3,4m|Z2)  
( V^C7ix:  
&R~)/y0]  
wrmbOT  
可编程探测器
>UDb:N[  
,a1 1&"xl  
>wJt# ZB  
3I%F,-r  
n\G88)Dv`V  
可编程光源
]<B@g($  
,[t>N>10TH  
B9(e"cMm  
PShluhY  
F3 z:|sTqc  
MATLAB可编程界面
gHe%N? '  
0b~{l;  
@}B,l.Tj  
 Z?_ t3  
F4`5z)<*  
C#可编程界面
;&8  
ZB@Bj>,b p  
u#sbr8Y  
Se>"=[=  
QYj8c]8f  
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