案例:LED和准分子激光的匀滑和整形

发布:piaodongdewo 2014-10-28 13:33 阅读:1609
案例:LED和准分子激光的匀滑和整形
功能
需要的工具箱
基本
光栅
衍射光学
照明
/0\m;&  
微光学元件的分析和设计
a&M{y  
透镜阵列
}q)o LC  
#=q)>+\  
A#f@0W:  
V2V^*9(wu@  
4JT9EKo  
蝇眼聚光镜
|*e >hk  
Y*dzoN.sW  
RiIJ#:6+^I  
W,}HQ  
YJ_LD6PL9  
衍射扩散器
U;LbP -{B  
BJ@tU n  
:W? 7J"  
bWW$_S pr  
RL[?&L$7^%  
单元阵列    光栅单元阵列
$7T3wv9  
#7/_Usso  
8~u#?xs6  
Ir_K8 3VM  
?Xx,[Z&  
            棱镜单元阵列
~Q0gSazXFt  
% tN{  
k"LbB#Q  
S=n,unn#t  
o=X6PoJ N_  
            反射镜单元阵列
o2He}t2o  
"Rf8#\Y/<  
pkWzaf  
k ?X  
-y1%c^36_J  
DOE产生的光分布
x24  
高帽
hCQz D2  
"~jt0pp  
1NtN-o)N?  
`i<;5s!rX  
)F,H(LblH  
平顶
P%]li`56-c  
HW;,XzP=  
DK}k||-  
}H&NR?Ax  
Eb7qM.Q] &  
焦线
H-K,Q%;C@  
G9TK)Nz  
<(TTYf8lS  
vd c k  
t|jX%s=  
二元二维强度分布
iov55jT~l@  
p6$ QTx  
O['gp~P"  
kL 6f^MoL  
+/*g?Vt  
任意二维强度分布
HeZ! "^w  
-ve{O-;  
Jtnuo]{R  
\Lv eZ_h5  
4\H:^U&  
点阵
*y9 iuJ}  
XO~xbG7>gZ  
S0eD 2  
Z"<aS&GH  
()6)|A<^U  
点线
Ad xCP\S&  
awQ f$  
`VCU`Y  
* xdS<  
-yHVydu=  
整形和匀滑
uvz}qH@j/Q  
单色LED
;Y5"[C9|  
L']EYK5  
8aQ\Yx  
/.l8Jb4  
pRe, B'&  
白光LED
( >zXapb2  
B- =*"H?q  
+h_'hz&HlS  
-&I%=0q  
p(in.Xz  
准分子激光
{|= 8wB  
Wly-z$\  
XP~bmh,T,  
KoZ" yD  
Z[<rz6%cB  
常见光束整形推荐使用的工具箱
gVjI1{WTK  
推荐的工具箱
q[`)A?Ae  
iK8aj)%Q@  
[ &RZ&  
"PK\;#[W|  
h$.y)v  
优化
,R]hNjs-{  
局部和全局参数优化
RL7OFfMe  
Z? u\  
7t=e"|^  
25]Mi2_  
8gwJ%"-K  
使用参数运行的全局优化
YzJ\< tkp  
0j\?zt?  
2V %si6  
RO"c+|Py  
U?97yc\$  
迭代傅里叶变换算法(IFTA
U\'.rT[#  
q'~ ?azg:  
u~FXO[b  
| Z'NMJU  
?JO x9;`  
单元阵列设计算法
}w .[ZeP  
gBfYm  
9,wd,,ta  
X-&t!0O4}`  
ZRN*.  
公差仿真
rKEi1b  
高度公差
M&o@~z0  
Lsa&A+fru  
#ky]@vyO  
}z:g}".4  
7wS )'zR;  
掩膜蚀刻深度公差
][3H6T!ckL  
-3`S;Dmn  
'lNy&  
`_Iy8rv:P  
9[K".VeT]  
边缘圆滑模拟
Y-\/Y*;cd  
;/?M&rX  
O|j(CaF  
$/^DY&  
^]:w5\DG  
对准误差
4TcKs}z  
FG]xn(E  
zvv<w@rX  
\|9@*]6:  
j}R!'m(P'  
波长误差
+k|t[N  
ParOWs~W/  
Tbv", b  
c ;_ T  
hbm%{*d  
远场和近场分布的变化
T(t@[U2^  
'q%56WAJ  
}= OI (Wy  
w@w(AFV9/  
Sc03vfmo"N  
由参数运行产生的实验系列
8|k r|l  
/Y$UJt  
W" >[sn|  
mLApF5Hy  
bH4'j/3  
加工数据的导出
Ibt~e4f  
GDSII文件
~\_aT2j0  
!$&k@#v:  
u!I Es  
gz fs9e  
xCU^4DO3p  
CIF文件
tPu0r],`o  
b[&A,ZPh$@  
RsV<4$  
ny# ?^.1  
W4n;U-Hb  
位图文件
H",w$$e F  
iSD E6  
h^_Sd"l3  
g}>Sc=e <  
]7<}EG  
ASCII/.csv文件
_<tWy+.  
)I7~ <$w  
I(LBc  
kA3nhBH  
fik*-$V`  
Point-Cloud文件
v4M1uJ8  
zN}1Qh  
<T]BSQk  
_$s ;QI]x  
( R2432R}J  
STL文件
cp D=9k!*K  
P<<?7_ ??  
1, 5"sQ$  
)P&>Tc?;z  
A4 ;EtW+F  
蚀刻掩膜的计算
`PML 4P[  
tA#7Xr+  
:[icd2JCw]  
+/!kL0[v  
j1/.3\  
自定义
80qSPitj  
可编程元件
FR%9Qb7  
mOiA}BGw  
kmfz=q?  
yGGQ;!/  
_H[LUl9  
可编程探测器
-M]NdgI  
<cC0l-=  
l#40VHa?S  
ahezDDR-.i  
w[`2t{^j  
可编程光源
"J51\8G@@  
}M3f ?Jv  
+Fn^@/?yC  
z4qw*. 5  
KDx~^OO  
MATLAB可编程界面
CKC%|xke  
6yDc4AX  
lqD.epm  
)8BGN'jyi  
Y&vn`#   
C#可编程界面
lr >:S  
E0F8FR'  
<i~O0f]   
[VvTR#^  
+y%"[6c|  
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