案例:LED和准分子激光的匀滑和整形

发布:piaodongdewo 2014-10-28 13:33 阅读:1550
案例:LED和准分子激光的匀滑和整形
功能
需要的工具箱
基本
光栅
衍射光学
照明
QoseS/  
微光学元件的分析和设计
O4!9{  
透镜阵列
N%*9&FjrL  
I*( 1.%:m  
BfVBywty  
;j!UY.i  
ofK='G .  
蝇眼聚光镜
0e\y~#-  
C=yD3mVz  
J'Gm7h{   
Y$+QNi  
eo ?Oir)  
衍射扩散器
^9=4iXd  
:~er h}~ps  
"/!'9na{QL  
03F3q4"  
~b#OFnyG  
单元阵列    光栅单元阵列
506V0]`/  
}PmTR4F!}  
fyrd `R  
j-6v2MH  
^}hZ'<PK  
            棱镜单元阵列
{(!)P  
l#ZyB|  
y{92Lym  
5;(0 $4I  
nzWQQra|?  
            反射镜单元阵列
!-ZP*V3}h  
7IQqN&J  
P#v^"}.Wd  
SM$\;)L  
0Nt%YP  
DOE产生的光分布
=E1tgrW  
高帽
p7$3`t 6u  
*W%'Di  
b*`fLrqV.  
!?6.!2  
W8VO)3nmD  
平顶
$bFgsy*N2  
,6RQvw  
V_lGj  
{zu/tCq?  
$YPQC  
焦线
J+i X,X  
[NjajA~z>F  
"h$D7 mL  
y}Cj#I+a  
<\p&jk?  
二元二维强度分布
5c)wZ  
w0aHEvH/  
.01TTK*  
t"tNtLI  
0S_Ra+e  
任意二维强度分布
 XtR`?  
oW8;^u  
[&Lxz~W][  
-: C[P  
Fos1WH?\  
点阵
9c%(]Rn:  
0O_E\- =  
so'eZ"A:  
<9 T [yg  
.N&QW `  
点线
. rRc  
u>1v~3,r#  
|]I#CdO  
^T=5zqRD  
Y[T J;O!R  
整形和匀滑
>"i~ x  
单色LED
> d^r">!,  
'&+Z,  
|O2|`"7  
N0=b[%g;n  
-)<JBs>  
白光LED
aL{EkiR  
E#m76]vkCU  
eUYG96Jw  
qgh]@JJh  
-g~iE]x6Y  
准分子激光
p {w}  
ud 5x$`  
5QNBB|X@  
(Jm(}X]sh[  
zC[i <'h!T  
常见光束整形推荐使用的工具箱
+HYN$>  
推荐的工具箱
UqY J#&MqY  
x`wZtv\  
RiwEuY  
m21QN9(i%  
F@oT7NB/n  
优化
H;4oZ[g  
局部和全局参数优化
i_'|:Uy*F  
rAtai}Lx  
}kpfJLjY  
`Nc`xO?  
:+kg4v&r  
使用参数运行的全局优化
Be'?#Qe   
`1}HWLBX.  
iLc)"L-i  
a>#d=.  
9N`+ O  
迭代傅里叶变换算法(IFTA
Fa Qu$q  
}//8$Z<(  
[J(@$Qix  
2X qPZ]2g  
bf&.rJ0  
单元阵列设计算法
d{vc wZQ  
|s)VjS4@  
fq)Ohb  
qen44;\L  
OLhWkN,qA  
公差仿真
My`josJ`Pb  
高度公差
Q%_!xQP`  
g^Ugl=f,  
LbLbJ{68  
/@xr[=L  
lyMJW }T+>  
掩膜蚀刻深度公差
1t} (+NNjH  
!07FsPI#{  
eWqVh[  
Jv '3](  
zM3H@;}m  
边缘圆滑模拟
0`aHwt/F  
\{Ox@   
3"2<T^H]  
ru(?a~lF8~  
y&KoL\  
对准误差
9OO0Ht4j  
'Kt4O9=p  
#]N&6ngJ  
x0TnS #  
S|z(  
波长误差
Ynk><0g6  
?trt4Tbe/  
m,kv EQ3  
8 H$@Xts  
^HOwN<}`#  
远场和近场分布的变化
tOlzOBzR  
c DEe?WS  
Y;%R/OyWY  
?$`1%Y9  
8O;rp(N.n  
由参数运行产生的实验系列
_z_3%N  
*n$m;yI  
/(WX!EEsB  
O #p)~V8~  
S{`!9Pii  
加工数据的导出
ho SU`X  
GDSII文件
z!t3xFN&/  
'6Z/-V4k  
D; 35@gtj  
:a^,Ei-&  
3ec==.  
CIF文件
k*UR# z(I  
^0 ,&R\e+  
;]O 7^s#v  
W0r5D9k  
aS1P]&  
位图文件
J?HZ,7X:  
B2Awdw3=g  
tr67ofld|  
_,-M8=dL%*  
xVwi }jtG|  
ASCII/.csv文件
dA MilTo  
yU&g|MV_  
QeOt; {_|  
ED =BZR  
R~seUW7uv"  
Point-Cloud文件
N%M>,wT  
1H2u,{O  
.tHv4.ob  
3\U,Kg  
SUFaHHk@/b  
STL文件
]P ?#lO6  
uzn))/"  
~?8 x0  
y[7xK}`_  
vG Lb2Q  
蚀刻掩膜的计算
yKk,);  
B #V 4  
V44sNi  
hcqmjqJ  
=jd=Qs IL  
自定义
TYLl_nGr  
可编程元件
mYs->mg1  
~4 xBa:*z  
7!QXh;u  
'' A[`,3  
 sCf(h  
可编程探测器
AZ Lt'9UD  
gt~2Br4  
A,CPR0g%  
,9j:h)ks?  
EA{*%9 A  
可编程光源
 Vgb>3]SU  
k~EPVJh"  
kviSQM2  
@IKe<{w  
(( IBaEq  
MATLAB可编程界面
!{ )AV/\D  
)cmLo0`$  
M>z7H"jCu  
N %/DN  
_w,0wn9N$  
C#可编程界面
s\1_-D5]Z  
MldL"*HW:  
&^D@(m7>{K  
WatLAn+  
\ rWgA  
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