案例:LED和准分子激光的匀滑和整形

发布:piaodongdewo 2014-10-28 13:33 阅读:1533
案例:LED和准分子激光的匀滑和整形
功能
需要的工具箱
基本
光栅
衍射光学
照明
@u8kNXT;h  
微光学元件的分析和设计
+qyx3c+  
透镜阵列
Y,X0x-  
1( ]{tF  
l,j0n0h.  
N\ zUQ J  
-4S4I  
蝇眼聚光镜
8|rlP  
[uu<aRAg3O  
QQUZneIDp  
e{*z4q1  
K)9f\1\  
衍射扩散器
2O0</^Z%E  
/Fp@j/50  
e]smnf  
;vgaFc]  
4zf(  
单元阵列    光栅单元阵列
'zYx4&s  
Qh4Z{c@  
]U5/!e  
us^J! s7  
aX35^K /  
            棱镜单元阵列
f >\~h,SLL  
rd}|^&e!Dy  
oo!JAv}~  
!Bb^M3iA  
@5TJ]=  
            反射镜单元阵列
ef -PlGn  
bcFZ ~B  
?) VBkA5j  
nnMRp7LQ-  
i8` 0-  
DOE产生的光分布
O@,9a~Ghd  
高帽
6>/g`%`N  
XE : JL_  
hdxq@%Vs  
>3y:cPTM5  
Z<$ y)bf  
平顶
Np R&`]  
R"[U<^  
-l q,~`v  
Lz}mz-N  
]08 ~"p  
焦线
l\~F0Z/O  
Wj31mV  
el^WBC3  
g2GHsVS  
33b 3v\N  
二元二维强度分布
UWq[K&vQZ  
_w49@9?  
%8T"h  
{~eVZVv  
nL&[R}@W  
任意二维强度分布
I0C$  
_tpqo>  
@wOX</_g  
Y @[Dy  
L:RMZp*bK  
点阵
:<>=,`vQD  
H6]z98  
S(h+,+289  
%v 1NDhaXz  
R(N5K4J  
点线
g:CMIe4  
UqsX@jL!  
4Rev7Mc  
 K na  
NU$?BiB?R  
整形和匀滑
U<mFwJ C]  
单色LED
fs wQ*  
C.oC@P  
O #S27.  
'"14(BvW  
$oU40HA)W]  
白光LED
Uk|(VR9  
D\i8WU  
!L_\6;aP,x  
b(|1DE0Cv  
?:XbZ"25pJ  
准分子激光
Q,z^eMk'd:  
a}MSA/K(  
T`.RP&2/d  
yCT:U&8%F  
Foc) u~  
常见光束整形推荐使用的工具箱
h#!u"'JW  
推荐的工具箱
XK t">W  
\<K@t=/ 6  
l2LUcI$ x  
(r+#}z}  
?go+oS^  
优化
S.X*)CBB  
局部和全局参数优化
N]6M4j!  
4tv}V:EO  
ME%W,B.|"s  
 iI(7{$y  
t^zmv PDK  
使用参数运行的全局优化
DYKJVn7w  
5??\[C^"}  
R<jt$--H  
=Vm"2g,aA  
Eax^1 |6  
迭代傅里叶变换算法(IFTA
_H+|Ic  
42wa9UL<Ka  
Y}pCBw  
vhQIkB8  
*6trK`tx^  
单元阵列设计算法
xF4>G0  
-0/5 !  
8I`t`C/4  
v9qgfdBS5  
r- ];@  
公差仿真
:"4Pr/}rT  
高度公差
5}uH;E)4  
wtY*{m2  
cnR.J  
}bxW@(bs  
]'2;6%. 4  
掩膜蚀刻深度公差
:DlgNR`bq  
3 0fsVwE2  
!F_BLHig  
z!r-g(^G  
Gx]J6Z8  
边缘圆滑模拟
_*SA_.0  
-!k$ Z  
(A\p5@ht  
K5fL{2V?  
t'@qb~sf  
对准误差
d }"Dp  
k9ThWo/#u  
u&!QP4$"z  
zIyMq3  
<{"]&bl  
波长误差
;gC.fpu  
RiY9[ec2  
&F*L=Ng  
Ie[8Iot?bn  
J4Ix\r_  
远场和近场分布的变化
1,tM  
9bL`0L  
%)Pn<! L  
 4|9c+^%^  
8%dE$smH  
由参数运行产生的实验系列
8KQ]3Z9p  
9D2}heTN  
8e`'Ox_5a  
Y 7a<3>  
UKBVCAK  
加工数据的导出
$R'  
GDSII文件
=lzRx%tm  
+$hqwNh@Z@  
dQ5_=( 9  
=Mb1)^m  
meHnT9a^  
CIF文件
Jzg>Y?jN R  
"gcHcboU5$  
1kG{z;9  
0'giAA  
q"|,HpQ  
位图文件
0wx lsny?  
PhHBmM GL  
~VRt 6C  
fgs){ Ng`  
TV~ <1vj  
ASCII/.csv文件
V'XmMn)!  
{xw"t9(fE  
kj o,?$r %  
*?zyF@K{%  
@A_bZQ@  
Point-Cloud文件
6^vMJ82U  
G8w<^z>pTg  
JMMT886  
gy Jx>i  
!$/1Q+  
STL文件
QEe\1>1"&  
/B $9B  
-R^OYgF  
1}moT#  
3;wAm/Z:Q  
蚀刻掩膜的计算
+:hZ,G?>  
7~2b4"&  
j4ARGkK5B  
)T-C/ 3  
G@YX8!w U  
自定义
:x36^{7  
可编程元件
Xknp*(9  
dM%#DN8 l  
4z^ ?3@:K  
7oPLO(0L  
t% -"h|  
可编程探测器
f^P:eBgpx  
h L 1q9%  
$\S;f"IM.  
e)pQh& uD  
{XT3M{`rWL  
可编程光源
*SW.K{{  
0y>]6 8D  
^BDM'  
F/MzrK\':m  
6}Se$XMl  
MATLAB可编程界面
-dCM eC  
Q&zEa0^rG6  
DB1GW,  
^hG Y,\K9  
AS 5\X.%L*  
C#可编程界面
vdwh59W  
qb^jcy  
85>WK+=  
(zW;&A  
Rgb1B3gu  
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