案例:LED和准分子激光的匀滑和整形

发布:piaodongdewo 2014-10-28 13:33 阅读:1594
案例:LED和准分子激光的匀滑和整形
功能
需要的工具箱
基本
光栅
衍射光学
照明
5gO /-Zj  
微光学元件的分析和设计
gE\A9L~b  
透镜阵列
KjO-0VMN3  
^$e0t;W=  
dVvZu% DFp  
x$~3$E  
*y)4D[ z-  
蝇眼聚光镜
IeO-O'^&`  
5i^`vmK  
[m~b[ZwES  
u@AI&[Z  
{?w"hjy  
衍射扩散器
E|Q{]&$;Z"  
0Xp nbB~~I  
V{43HA10b  
L_E^}^1!  
+H41]W6  
单元阵列    光栅单元阵列
):/,w!1  
:M@Mmp Ph  
=.DTR5(_h  
Nfr:`$k  
-&@]M>r@  
            棱镜单元阵列
:qBGe1Sv(  
D)y{{g*Lnm  
_8al  
,g%o  
nlaG<L#  
            反射镜单元阵列
n;%y  
!IN @i:m  
Ah*wQow  
t @;WgIp(&  
"<qEXX  
DOE产生的光分布
AU/#b(mI  
高帽
;{Xy`{Cg!  
WPtMds4  
Og=[4?Kpk  
2@sr:,\1  
X R4)z  
平顶
2%5?F n=  
|P>|D+I0  
yji>*XG  
`-o5&>'nf  
<8f(eP\*F  
焦线
>'N!dM.+9  
s_xV-C#q@  
`v~!H\q  
k5wi'  
GYd]5`ri  
二元二维强度分布
-/zp&*0gcx  
`%oIRuYG]j  
inZi3@h)T  
7RD$=?oO'  
2yvVeo&3  
任意二维强度分布
t=Jm|wJnUA  
(|dPeix|  
9_GokU P_  
c8<xFvYG  
mW~P!7]  
点阵
vnTq6:f#M  
zFywC-my@  
7D   
IfMpY;ow=  
1+a@k  
点线
tfA}`*$s  
q4k.f_{  
p-,Iio+  
b~*i91)\  
qi&D+~Gv!  
整形和匀滑
(8G$(MK  
单色LED
t7bqk!6hM\  
-TTs.O8P|<  
wdwp9r  
MxTmWsaW  
;%W dvnW  
白光LED
7TpRCq#  
=*O=E@]  
NF mc>0-  
?Wa<AFXQ  
' S,2  
准分子激光
q$T8bh,2  
H2U:@.o2&  
%'0&ElQ  
qp&4 1  
P6YQK+  
常见光束整形推荐使用的工具箱
yj zK.dM  
推荐的工具箱
@1g&Z}L o  
5)`h0TK  
/c#l9&,  
:6D0j  
JDA]t&D!v  
优化
G6Nb{m  
局部和全局参数优化
qjAh6Q/E`  
gu<V (M\  
ertBuU  
5g>wV  
=|,A%ZGF$  
使用参数运行的全局优化
1TZPef^y  
\bold"  
7@l<? (  
k':s =IXW  
NXI[q 'y  
迭代傅里叶变换算法(IFTA
[zh"x#AyI  
/_*>d)  
"hPCQp`Tj  
3=- })X ;  
LT_iS^&1  
单元阵列设计算法
55m<XC  
RJ}#)cT  
d!V$Y}n  
]JMl|e  
#epy%>  
公差仿真
MhxDV d  
高度公差
,@.EpbB  
Mu2`ODe]  
J@]k%h  
*aRX \ TnN  
Uu'dv#4Iw  
掩膜蚀刻深度公差
|=5/Rax^  
nIBFk?)6  
9Cvn6{  
|" 7 Y52d  
6ep>hS4A&  
边缘圆滑模拟
Vz"u>BP3~  
u|fXP)>.  
z<&m*0WYA  
W)4QOS&  
A 5nO=  
对准误差
F,T~\gO5,  
Cq\I''~8  
!p[`IWZ  
/k6fLn2;  
"b,%8  
波长误差
euQ.ArF  
>]?H`>4(  
lddp^ #f  
&y\sL"YL!  
-JV~[-,  
远场和近场分布的变化
JhX=l-?  
o2uj =Gnx  
RU&_j* U  
T ):SGW  
 +sZUJ  
由参数运行产生的实验系列
y%cO#P@  
0LL c 1t>}  
/:[2'_Xl  
b,<9  
'q{733o  
加工数据的导出
>M;u*Go`QO  
GDSII文件
a07=tD  
?c#$dc"  
z`U Ukl}T  
-iN.Iuc{b_  
Q@QFV~  
CIF文件
A3{0q>CC  
m*e YC  
n$["z w  
Y(6Sp'0  
}Je>;{&%  
位图文件
23ze/;6%A  
%2l7Hmp4H  
#"f' 7'TE  
%f ju G  
q/gB<p9  
ASCII/.csv文件
N "Wqy  
uTvv(f  
ofdZ1F  
"!UVs+)]  
0l\y.   
Point-Cloud文件
3,eIB(  
AuiFbRFi  
0 P|&Pq&IH  
G^Tk 20*  
rrBAQY|.  
STL文件
9NpD!A&64<  
#AViM_u  
TprtE.mP  
yL1bS|@  
ktH8as^54!  
蚀刻掩膜的计算
:@3Wg3N  
=VP=|g  
5OP`c<  
$t =O:  
jE/oA<^  
自定义
Qx`~g,wk8  
可编程元件
,^'R_efY  
\5><3*\  
ANMg  
k#JQxLy#  
0ZI(/r  
可编程探测器
%y`7);.q  
kBEmmgL  
qr(`&hB-L  
&%C4Ugo  
!K0JV|-?t  
可编程光源
H7g< p"  
eC`pnE  
M8;lLcgu.  
F # YPOH  
6f%DpJ:$U  
MATLAB可编程界面
_YHu96H;  
GG6% bF  
yJ2B3i@T 4  
j|(Z#3J  
$1Nd_pD=  
C#可编程界面
B |{I:[  
cPF<D$B  
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2y GOzc  
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