案例:LED和准分子激光的匀滑和整形

发布:piaodongdewo 2014-10-28 13:33 阅读:1567
案例:LED和准分子激光的匀滑和整形
功能
需要的工具箱
基本
光栅
衍射光学
照明
vo>i36  
微光学元件的分析和设计
Yan}H}Oq  
透镜阵列
kJK*wq]U6  
?Sr7c|a2  
DPr~DO`b  
SW)jDy  
SZ1yy["  
蝇眼聚光镜
NOFuX9/'w  
t W}"PKv  
J#xZ.6)  
%U6A"?To  
Z -fiJ75  
衍射扩散器
WS//0  
7#(0GZN9h%  
$i@I|y/  
i2+_~$f  
]-;MY@  
单元阵列    光栅单元阵列
@Yn+ir0>O  
:!ablO~  
dngG=  
jss.j~8  
Mj`g84  
            棱镜单元阵列
'0w</g  
7n,=`0{r  
8]D0)  
83J6 3Xa  
W*B=j[w  
            反射镜单元阵列
 :!Nx'F9a  
9oYE  
+Fb+dU  
d hjX[7Bl9  
uS5G(}[  
DOE产生的光分布
BbiyyRa  
高帽
QP/ZD|/ t1  
\q\"=  
b]  
.N7<bt@~)  
hn~btu 9h  
平顶
&\%\"Zh  
IhRdn1&  
6-z(34&N  
)-0+O=v  
8@Bm2?$}g  
焦线
"  sC]z}  
C]Y%dQh+a  
=R<92v  
l(W?]{C[%  
C^;>HAK|F  
二元二维强度分布
ut#pg+#Q  
TF9A4  
W,"Re,`H  
n =WH=:&  
\d*ts(/a*  
任意二维强度分布
4jSYR#Hqp`  
{1qr6P,"  
icb *L~qm  
OADW;fj  
,Js-'vX  
点阵
*nYg-)  
.9N7`  
F-$!e?,H  
\KzH5?  
D(OJr5Gg  
点线
~> N63I6  
k>\v]&|T`  
:t<S  
+xvn n  
a#k7 aOT0  
整形和匀滑
0n'v F&E8  
单色LED
Oi zj |'  
\m%c"'[  
P@f#DX )  
6ypLE@Mk  
Xhq6l3M  
白光LED
_9JFlBx  
m"'} {3$%  
N .H<'Q8&  
p_(En4QSH  
_m[DieR  
准分子激光
Wa7wV 9  
T2/:C7zL  
.6T0d 4,1  
$dXx@6fP  
T=)qD2?  
常见光束整形推荐使用的工具箱
ca,W:9#.xn  
推荐的工具箱
:o .+<_ &  
El@*Fo  
ZX64kk+  
[`oVMR  
<e?Eva%t`  
优化
[61*/=gWe  
局部和全局参数优化
G<Eb~]. 1'  
atF#0*e>  
3fp&iz  
} c k <R  
aZCq{7Xs  
使用参数运行的全局优化
'5 ~cd  
(wM` LE(Ks  
KyfH8Na?  
W>i"p~!  
o.Rv<a5.L  
迭代傅里叶变换算法(IFTA
&e@)yVLL  
AB`.K{h  
Qj;{Z*l%+  
(/N&_r4x  
aY#?QjL  
单元阵列设计算法
IlB8~{p_  
%^HE^ &  
~^V&n`*7D  
4&;iORw&E4  
a!E22k?((z  
公差仿真
4$[o;t>  
高度公差
3_Xu3hNH!  
O"+0 b|  
$q)YC.5$  
,d,2Q  
m|B=&#  
掩膜蚀刻深度公差
(=Cb)/s0  
%:d7Ts&?Z  
+Gt9!x}#e  
*>KBDFI  
r O$pj~!|Q  
边缘圆滑模拟
ft6)n T/"&  
"H).2{3(x  
wuA?t  
z'_Fg0kR{  
ur\6~'l4  
对准误差
~qrSHn}+PU  
HDhISPg  
YE{ [f@i0  
jRg gj`o  
JEp)8{.bW8  
波长误差
TXmS$q   
q\?s<l63  
z{ :;Rb  
3W%6n-*u  
p> `rTaeZg  
远场和近场分布的变化
gCb+hQq\  
5'I+%66?h$  
 7;fC%Fq  
_TOWqV^  
78uImC*o  
由参数运行产生的实验系列
gmRc4o  
3!{imQT  
phuiLW{&  
#5@(^N5p`  
FOsd{Fw  
加工数据的导出
II=`=H{  
GDSII文件
Ak9{P`  
N|DI k  
112 WryS  
W^tD6H;  
j2MA['{  
CIF文件
C e-ru)  
{5E8eQ  
@-!P1]V|  
SN}K=)KF#  
x z8e1M  
位图文件
x|rc[e%k  
2`$*HPj+G  
0+FPAqX  
w*VN =  
L/tpT?$fi  
ASCII/.csv文件
sm/a L^4  
!E 5FU *s  
:W*yfhLt  
u /F!8#  
F?Lt-a+  
Point-Cloud文件
~v;I>ij  
,<rC,4-F<  
'v6@5t19j  
dw"Es;^  
IgX &aW  
STL文件
q`c!!Lg  
Ib#-M;{  
*-nO,K>y`  
e"S?qpJK  
D;pI!S<#  
蚀刻掩膜的计算
r N$0qo  
%;'~TtW5  
6<];}M_{  
v1OVrk>s>  
P8z%*/ 3NF  
自定义
Qo#]Lo> \g  
可编程元件
J\@6YU[A  
Ou_H&R  
^1S{::  
&>JP.//spi  
'Lrn<  
可编程探测器
l )%PvLbL  
<L-F3Buu  
!?P8[K  
'C'mgEl%L  
NU=ru/  
可编程光源
xb,d,(^]R  
T8o](:B~  
.4+R ac  
U]cXE1c>F  
DSU8jnrL  
MATLAB可编程界面
'=_(fa,  
h9)S&Sk{s  
&:  Q'X  
e|]e\Or>  
k>($[;k|b  
C#可编程界面
Y9)j1~  
io4<HN  
k1wIb']m]z  
l_h:S`z.  
7}kJp%-  
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