案例:LED和准分子激光的匀滑和整形

发布:piaodongdewo 2014-10-28 13:33 阅读:1507
案例:LED和准分子激光的匀滑和整形
功能
需要的工具箱
基本
光栅
衍射光学
照明
vdAr|4^qB  
微光学元件的分析和设计
"W6uV!  
透镜阵列
B3We|oe!  
/rWd=~[MO  
b*a#<K$T_  
IwQ"eUnK  
Y<N5# );f  
蝇眼聚光镜
'@o;-'b  
7j@Hs[ *  
zr-*$1eu  
_ TiuY  
R%{<mno/_  
衍射扩散器
Y~c|hfL  
e>6y%v;  
]~9t Y n  
kZR8a(4D  
C'9Cr}cZ.  
单元阵列    光栅单元阵列
SheM|I~de  
n&$j0k  
n6wV.?8  
!hJ+Lp_  
LInz<bc<(  
            棱镜单元阵列
`7c~m ypx  
T -.%  
CyJEY-  
Oxm>c[R  
sd*p/Q|4  
            反射镜单元阵列
v\c>b:AofD  
A 9( x  
/KFfU1  
} df W%{  
zwhe  
DOE产生的光分布
gqZ'$7So  
高帽
qraSRK5  
nr95YSH  
p*< 0"0  
H=<S 9M  
bWH&P/>  
平顶
RiDJ> 6S  
SEo'(-5  
Xnt~]k\"  
= I:.X ;  
s]HOGJJz  
焦线
C uFSeRe  
@3) (BpFe  
X$HIVxyq2  
ZGBd%RWjG_  
>=qf/K +#  
二元二维强度分布
fa-IhB1!K  
xe]y]  
.8@$\ZRP  
X.OD`.!>  
|9uOUE  
任意二维强度分布
?iw!OoZ`  
tClg*A;|B  
QqDC4+ p"  
)mg:_K  
sQ=]NF)\  
点阵
l}a)ZeR1  
V_R@o3kv;  
rx'RSo#1O  
{ME2ImD  
4-? C>  
点线
?h3Y)5xT  
8LyD7P 1\  
]q;Emy  
ot,jp|N>f~  
mi=Q{>rb  
整形和匀滑
bk[U/9Z\  
单色LED
Z 6t56"u  
$3W;=Id=+  
6o!!=}'E[  
{}>0e:51  
DjCqh-&L  
白光LED
(lXGmx8  
S{Kiy#ltWc  
FTH|9OP  
61,;Uc\T  
18)'c?^.  
准分子激光
J; 3{3  
HeK/7IAqp  
Nu0C;B66  
}'5MK  
4qphA9i1  
常见光束整形推荐使用的工具箱
7P%%p3  
推荐的工具箱
S(o#K|)>  
x5|I  
^Xuvy{TkPH  
9"@\s$ OBk  
+cD<:"L'g  
优化
aFc1|.Nm  
局部和全局参数优化
8|b3j^u  
V8 e>l[tH  
Kh"?%ZIa  
jG6]A"pr  
!!qK=V|>  
使用参数运行的全局优化
CHdX;'`*  
~9?cn  
[=x[ w70  
Bt[/0>i  
Hj'xAtx5  
迭代傅里叶变换算法(IFTA
kJWn<5%ayg  
x[4`fM.m*  
IW)()*8;/  
+y,T4^{  
8a &:6Zuo  
单元阵列设计算法
4]rnY~  
"C?#SO B  
7.-V-?i  
osciZ'~  
-Q2, "  
公差仿真
he#J|p  
高度公差
h-g+g#*  
< 3(LWxw  
+_7*iJtD5  
C#QpQg2  
|o,YCzy|5  
掩膜蚀刻深度公差
tWo{7)Eb  
-)s qc P  
-T!f,g3vW  
PEN \-*Pv  
/TE_W@?^  
边缘圆滑模拟
YW-usvl&  
W"724fwu&  
.R`5 Qds*l  
yH7F''O7  
d[r#-h> dS  
对准误差
]5BX :%  
?m![Pg%  
}p=Jm)y  
{2qFY 5H  
w'L\?pI  
波长误差
g! cUF+  
c_\YBe]wJ  
9s_vL9u  
L9-h;] x!  
7ByTnYe~S  
远场和近场分布的变化
l|xZk4@_uE  
z+ s6)Ad  
KuWWUjCE  
4f@o mAM  
,_|]Ufr!a  
由参数运行产生的实验系列
mt9 .x  
|}2 3>l7  
gHhh>FFAq  
^L0d/,ik  
jQk*8   
加工数据的导出
jATI&oX  
GDSII文件
BeCWa>54i  
33jovK 2  
`{,Dy!rL  
:z}MIuf  
N03G>fZ  
CIF文件
Z:ni$7<.  
&-s'BT[PGq  
qNI, 62  
0- ><q  
Q=BZ N]g2  
位图文件
G,TM-l_uw  
X_qf"|i  
GRMiQa  
OF%B[h&   
t(GR)&>.2  
ASCII/.csv文件
'jmTXWq*  
3VuW#m#j  
xAafm<L@!  
$f,n8]  
gWrgnlq  
Point-Cloud文件
"~=mG--I  
A; 5n:Sd  
YWMGB#=  
<F'X<Bau  
.P.z B}0=  
STL文件
#Pw2Q  
mK[)mC _8  
V~S0hqW[  
Q9U f.Lh2  
XGJj3-eW {  
蚀刻掩膜的计算
S5KEXnjm  
n"+[ :w4  
qzI&<4  
ak ->ML  
IGS1|  
自定义
e?`5>& Up  
可编程元件
Ob}?zl@  
4%2~Wi8  
N;Dni#tQ`  
AgOp.~*Z~V  
so)"4 SEu  
可编程探测器
b3S.-W{p.  
Na$Is'F &p  
{g2@6ct  
fBgEnz/  
GM<BO8Y.  
可编程光源
S;~g3DC d  
smdZxFl  
!:|TdYrmj  
2H/Z_+\  
y_*PQZ$c<  
MATLAB可编程界面
zUkN 0  
1BAgtd$3  
( {1e%  
4J;-Dq  
2-=\~<)  
C#可编程界面
'xhcuVl  
c1$ngH0  
~/8M 3k/  
$U$V?x uE  
VR+<v   
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