[求助]AR膜反射率不良时如何调整 [复制链接]

目前已知的是： c 8E&  
1.根据TFC演示，膜厚调整 n?:s/6tP  
2.如果蒸发速率过小，就把预熔功率加大些 ?$8OVq.w,  
没有其他方法了吗，各位亲们？ pGUrYik4  
}JvyjE  
同样的条件连续镀为什么每次反射率图形都不一样咧？ |8V+(Vzl  

膜系敏感层  

看变化的大不大吧，如果在机器的误差范围之内变化是正常的，如果是连续的同一机器镀膜，每次都不一样，应该是设备出现了不良，EB，膜厚计，离子枪等不良都有可能。

主要控制膜厚和折射率

薄層問題 @aWvN;v  
d1vC-n N  
解決方法: wHAoO#`wn5  
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最簡單就是用石英控控制薄層
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Nz\=M|@(#  
或薄層的鍍率用慢點 o
-yZ$+V  
;| )&aTdH  
去試試看

不懂，还在学习中

如果是国内的设备，还是晶控比较好，光控最好的还是莱宝

可以考虑换下靶的材料

leehow534:气压，膜厚，光量比值都没问题，很奇怪呀。 nsW#  
有些膜层同样的膜厚10几个NM，监控玻璃有时候有极值有时候又没有，何解？ 1fajTT?  
大多数情况下没有极值，根本看不出来规律来 (2014-04-01 23:20)  e x"E50  

IP<]a5  
薄层，特别是二氧化硅薄层，还是用晶控。 -|_#6-9  
另外，看一下光控片有没有问题，高度是否一致，是否水平放置。 pe%$(%@v  
光控片换新的试试，装之前擦一下。

AR就用晶控控制看看呗。