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[求助]AR膜反射率不良时如何调整 [复制链接]

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离线leehow534

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只看楼主正序阅读楼主发表于: 2013-12-13

目前已知的是：
1.根据TFC演示，膜厚调整
2.如果蒸发速率过小，就把预熔功率加大些
没有其他方法了吗，各位亲们？

同样的条件连续镀为什么每次反射率图形都不一样咧？

[ 此帖被leehow534在2013-12-15 22:46重新编辑 ]

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离线opticsrain

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只看该作者 17楼发表于: 2019-04-29

看变化的大不大吧，如果在机器的误差范围之内变化是正常的，如果是连续的同一机器镀膜，每次都不一样，应该是设备出现了不良，EB，膜厚计，离子枪等不良都有可能。

离线onlye

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只看该作者 16楼发表于: 2019-01-30

主要控制膜厚和折射率

离线johnyu

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只看该作者 15楼发表于: 2018-09-05

薄層問題

解決方法:

最簡單就是用石英控控制薄層

或薄層的鍍率用慢點

去試試看

离线seven_117

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只看该作者 14楼发表于: 2018-04-08

不懂，还在学习中

离线yzhuang

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只看该作者 13楼发表于: 2015-04-04

如果是国内的设备，还是晶控比较好，光控最好的还是莱宝

离线teddy0586

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只看该作者 12楼发表于: 2014-12-09

可以考虑换下靶的材料

离线ouyuu

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只看该作者 11楼发表于: 2014-10-21

回 leehow534 的帖子

leehow534:气压，膜厚，光量比值都没问题，很奇怪呀。 `k I}p
有些膜层同样的膜厚10几个NM，监控玻璃有时候有极值有时候又没有，何解？ &f'Lll
大多数情况下没有极值，根本看不出来规律来 (2014-04-01 23:20) E5P.x^

薄层，特别是二氧化硅薄层，还是用晶控。
另外，看一下光控片有没有问题，高度是否一致，是否水平放置。
光控片换新的试试，装之前擦一下。

离线wugujianwgj

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只看该作者 10楼发表于: 2014-10-17

AR就用晶控控制看看呗。

离线leehow534

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只看该作者 9楼发表于: 2014-04-01

气压，膜厚，光量比值都没问题，很奇怪呀。
有些膜层同样的膜厚10几个NM，监控玻璃有时候有极值有时候又没有，何解？
大多数情况下没有极值，根本看不出来规律来

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