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    [求助]AR膜反射率不良时如何调整 [复制链接]

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    离线wugujianwgj
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    只看该作者 10楼 发表于: 2014-10-17
    AR就用晶控控制看看呗。
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    离线ouyuu
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    只看该作者 11楼 发表于: 2014-10-21
    回 leehow534 的帖子
    leehow534:气压，膜厚，光量比值都没问题，很奇怪呀。 gC3{:MC-G  
    有些膜层同样的膜厚10几个NM，监控玻璃有时候有极值有时候又没有，何解？ =thgNMDm"  
    大多数情况下没有极值，根本看不出来规律来 (2014-04-01 23:20)  cVz.ac  
    ?;*mSQA`J  
    薄层，特别是二氧化硅薄层，还是用晶控。 55;xAsG  
    另外，看一下光控片有没有问题，高度是否一致，是否水平放置。 $v^F>*I1  
    光控片换新的试试，装之前擦一下。
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    离线teddy0586
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    只看该作者 12楼 发表于: 2014-12-09
    可以考虑换下靶的材料
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    离线yzhuang
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    只看该作者 13楼 发表于: 2015-04-04
    如果是国内的设备，还是晶控比较好，光控最好的还是莱宝
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    离线seven_117
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    只看该作者 14楼 发表于: 2018-04-08
    不懂，还在学习中
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    离线johnyu
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    只看该作者 15楼 发表于: 2018-09-05
    薄層問題 Ck[Z(=b$$:  
    KDY~9?}TM  
    解決方法: N.VzA 6 C  
     @P~ u k  
    最簡單就是用石英控控制薄層 9(H8MUF0{  
    %;zA_Wg  
    或薄層的鍍率用慢點 R{*p \;  
    G q:7d]c~T  
    去試試看
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    离线onlye
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    只看该作者 16楼 发表于: 2019-01-30
    主要控制膜厚和折射率
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    离线opticsrain
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    只看该作者 17楼 发表于: 2019-04-29
    看变化的大不大吧，如果在机器的误差范围之内变化是正常的，如果是连续的同一机器镀膜，每次都不一样，应该是设备出现了不良，EB，膜厚计，离子枪等不良都有可能。
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