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[讨论]OS-50薄膜热应力是压应力还是拉应力 [复制链接]

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离线zmcjzt

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只看楼主倒序阅读楼主发表于: 2013-11-15

如题，请问OS-50薄膜热应力是压应力还是拉应力？

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离线luffy17520

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只看该作者 1楼发表于: 2013-11-22

是什么材料蒸发的啊
根据材料来算拉应力还是张应力

离线zmcjzt

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只看该作者 2楼发表于: 2014-04-09

回 luffy17520 的帖子

luffy17520:是什么材料蒸发的啊 *v;2PP[^
根据材料来算拉应力还是张应力 (2013-11-22 13:04) \:%(q/v"X

TI3O5 TI3O5

离线ouyuu

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只看该作者 3楼发表于: 2014-04-17

OS-50是TiO2吧。应力也要看基板温度的。