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    [讨论]OS-50薄膜热应力是 压应力还是拉应力 [复制链接]

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    离线zmcjzt
    实习生
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2013-11-15
    如题，请问OS-50薄膜热应力是 压应力还是拉应力？
     
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    离线仙溪谷
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    只看该作者 4楼 发表于: 05-14
    要看对应的温度的，温180°以下薄膜表现为压应力，在180以后会逐渐表现为张应力，
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    离线ouyuu
    论坛版主
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    只看该作者 3楼 发表于: 2014-04-17
    OS-50是TiO2吧。应力也要看基板温度的。
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    离线zmcjzt
    实习生
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    只看该作者 2楼 发表于: 2014-04-09
    回 luffy17520 的帖子
    luffy17520:是什么材料蒸发的啊 _/F7 ?^j  
    根据材料来算拉应力还是张应力 (2013-11-22 13:04)  | 1E|hh@k  
    +s(HOq)b  
    TI3O5    TI3O5        
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    离线luffy17520
    技术员
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    光券
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    只看该作者 1楼 发表于: 2013-11-22
    是什么材料蒸发的啊 Rd2qe /  
    根据材料来算拉应力还是张应力
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