欧美设备及材料推荐:溅射/蒸发镀膜设备、金刚石薄膜合成设备、金刚石窗口、光学软件

发布:十一维空间 2013-08-25 13:38 阅读:4149
产品推荐(光学软件镀膜设备金刚石窗口、金刚石合成设备): n@BE*I<"  
w\Q3h`.  
1. 光学设计软件(照明设计、镜头设计、杂光及鬼像分析等)、物理光学设计软件及服务(DOE、HOE等);激光模拟仿真软件(固体、半导体光纤激光器设计);激光与物质相互作用模拟。 -p>KFHj6  
QEM")(  
2. 散射测量仪(BSDF/BRDF)、非球面干涉仪; q*A2>0O  
K0]'v>AWr  
各种蒸发、溅射镀膜设备(Evaporator / Sputter) r2.87  
——热丝,电子束,电感;Reactive, 直流, Confocal, 射频,non-reactive ?9i7+Y"  
——金属膜(Al, Au, Ge, Ni, NiCr, Pd, Pt, Ti, Ta, W, Mo, Nb, NbN, NbTiN 2 c'=^0:  
——光学膜、单/多层膜、磁性膜、氧化膜、非金属膜等
uw+v]y  
——衬底旋转,衬底倾斜——角度精度0.0005度、重复性0.01度 )dLESk  
-----高真空(10^-7 至10^-8 Torr)、超高真空(10^-11Torr)
BzA(yCu$:  
8N(bLGUG  
PECVD——过渡金属膜、氮化硅(Si3N4),、氧化硅 (SiO2)、氧氮化硅、类金刚石; g\ @nA4  
Ion milling——PZT, 磁性材料(MRAM, GMR, TMR), Pt, Cu, TeGe 等材料处理 ~GfcI:Zz&  
plasma treatment设备------刻蚀、灰化、功能化处理(亲水、疏水)、超洁净 3WJ> T1we  
O6;>]/`  
3. 金刚石窗口及其合成设备MPCVD / HFCVD: bm1ngI1oI  
——合成金刚石多晶(窗口)材料(紫外窗口、红外窗口、激光窗口、微波窗口 7F`QN18>(  
——合成超纳米晶金刚石:用于MEMS,bioMEMS,RF MEMS,3D structures. _\"P<+!  
MPCVD可沉积直径8-12英寸光学级金刚石窗口/超纳米晶 B>o\;)l3O  
%kJ:{J+w]  
——合成单晶金刚石(用于单晶刀具、宝石、laser crystal、量子计算和量子信息 )1j~(C)E8  
高纯度单晶(杂质浓度低于1ppb)、高电子迁移率掺杂金刚石(B, N, P) !j4C:L3F  
da!N0\.1T  
——其中HFCVD可以沉积的0.5m2金刚石薄膜,金刚石罩; N>Y`>5  
F4 Ft~:a  
——提供金刚石/蓝宝石金属化、钎焊服务。 qPE(Lt1  
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欢迎联系,我们将为您推荐最适合的配置! 1elcP`N1  
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qq:417849744 yL.si)h(p  
邮箱:tianyu822(at)gmail.com M)EKS  
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