半导体UVLED曝光
半导体UVLED曝光方法,适于利用一台UVLED曝光机对晶片进行曝光。这种半导体UVLED曝光机至少是由用来承载晶片的曝光镜头以及液体循环装置构成,其中液体循环装置在曝光期间为曝光镜头与晶片之间供应液体。其特征在于,半导体UVLED曝光前,利用至少一对准光源对承载台进行一对准操作,其中对准光源具有一特定波长,使液体挥发时对对准光源的影响降至最低,以防止液体影响前述对准操作。 半导体UVLED曝光机的原理以及特点: 1、省电节能,减低成本,半导体UVLED曝光机的LED发光达到某种亮度时所消耗的能量只有15瓦左右,而传统的灯达到同样亮度要消耗1500瓦的能量,即使与UV卤素灯相比,也可节省80%的能源。 |




