1、金属膜的制作.(银、铬、铝、金等金属膜)
8qo{% 2、标准铬版的制作和特殊铬版的制作。
,.G6c=pZ 主要包括:2.0/2.5/3.0/4.0/5.0 英寸铬版的制作.
pT:CvJ 3、光刻模版的设计与制作。
X 1^f0\k 最小线宽能达到1微米。精度在正负0。2微米左右。
Pa%XLn'5 4、复制。
-N~*h 根据客户需求复制不同的图案。如:分划版、光栅版、
R CnN+b:c 码盘以及其他特殊图案的复制。最细线宽2微米。周期4微米。
@C7#xGD 5、腐蚀。
0}-&v+ 我们能够对k9玻璃、石英、硅等材料上制作不同图案的
%TvunV7NQS 凹槽(根据不同的需求采用不同的腐蚀方法--湿法和干法刻蚀)
^`Vt<DMT 现在能够制作1微米宽,2微米深的图案。周期8微米。
M"ZP s 6、特殊衍射元件的制作。
VTy!<I 7、半导体激光器及其藕合模块.成套出售
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