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    [原创]真空镀膜金属材料膜系设计 [复制链接]

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    离线563508843
    助理工程师
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2012-11-19
    请问金属镀膜靶材如HfO2/ZrO2/AL2O3Y2O3/等靶材与那些药材可以设计多层膜？
     
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    离线zx小双
    实习生
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    只看该作者 18楼 发表于: 2020-07-12
    看看有资料不
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    离线王少伟
    实习生
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    只看该作者 17楼 发表于: 2020-03-05
    你说的都是金属氧化物啊？靶材是在溅射镀膜中的称呼，你这是在说金属靶材冲氧气溅射到基底上的物质吧。
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    离线wflney
    助理工程师
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    只看该作者 16楼 发表于: 2019-12-28
    没看明白
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    离线wflney
    助理工程师
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    只看该作者 15楼 发表于: 2019-12-26
    学习一下
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    离线fanrongwei11
    工程师
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    只看该作者 14楼 发表于: 2019-12-03
    学习看看有没有用  <T[E=#  
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    离线古书生
    实习生
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    只看该作者 13楼 发表于: 2017-06-12
    材料可以，但有些目前还没有反应溅射工艺实现！
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    离线yixin008
    技术员
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    只看该作者 12楼 发表于: 2017-06-11
    这些都是氧化物材料啊
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    离线lyr1985
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    只看该作者 11楼 发表于: 2017-05-07
    金属镀膜牛啊
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    离线拉比熊
    实习生
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    只看该作者 10楼 发表于: 2013-01-13
    学习 +E1h#cc)  
    希望版主解答
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