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    [讨论]折叠式光刻物镜 [复制链接]

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    离线bruce45
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    只看该作者 20楼 发表于: 2013-02-04
    看看了
    离线phoenixzqy
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    只看该作者 21楼 发表于: 2013-04-13
    回 bruce45 的帖子
    bruce45:看看了(2013-02-04 12:12)嬀/color] vM?jm! nd  
    5ggsOqH  
    欢迎讨论!
    让光学不再神秘,让光学变得容易,快速实现客户关于光学的设想与愿望。
    离线darkwzj
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    只看该作者 22楼 发表于: 2013-04-17
    请问 您主要从哪些方面来评价像质的呢? :CGh$d] +  
    您的设计指标中 对像质是如何要求的? UH`cWVLpr  
    另外NA不到0.1是指物方的么?还是像方?
    离线phoenixzqy
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    只看该作者 23楼 发表于: 2013-04-17
    回 darkwzj 的帖子
    darkwzj:请问 您主要从哪些方面来评价像质的呢? _Lgi5B%   
    您的设计指标中 对像质是如何要求的? e4<St`K  
    另外NA不到0.1是指物方的么?还是像方? (2013-04-17 20:43)  wUKt$_]``  
    j>A=Wa7  
    像质的评价标准就那么几个。点列图 mtf   或者可以看一下psf o[aIQ|G  
    这个系统时要做到衍射极限的,看点列图没太大意义。看mtf和衍射极限就行了。 G2w0r,[  
    na我也记不清楚是哪方的了。很早之前做的了
    让光学不再神秘,让光学变得容易,快速实现客户关于光学的设想与愿望。
    离线darkwzj
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    只看该作者 24楼 发表于: 2013-04-17
    回 phoenixzqy 的帖子
    phoenixzqy:像质的评价标准就那么几个。点列图 mtf 或者可以看一下psf y6&o+;I$[  
    这个系统时要做到衍射极限的,看点列图没太大意义。看mtf和衍射极限就行了。 9PG3cCr?  
    na我也记不清楚是哪方的了。很早之前做的了(2013-04-17 20:48)嬀/color] s:J QV  
    IYe,VL  
    感谢回答~
    离线phoenixzqy
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    只看该作者 25楼 发表于: 2013-04-17
    回 darkwzj 的帖子
    darkwzj:感谢回答~ (2013-04-17 21:29)  AX6l=jFZx  
    6o~CX  
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    让光学不再神秘,让光学变得容易,快速实现客户关于光学的设想与愿望。
    离线ciomplj
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    只看该作者 26楼 发表于: 2013-06-13
    学习学习~
    离线phoenixzqy
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    只看该作者 27楼 发表于: 2013-06-13
    瞎搞的,帮一个学生做的。
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    离线chengzheng
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    只看该作者 28楼 发表于: 2013-08-31
    学习下,谢谢        
    离线hehexixi2211
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    只看该作者 29楼 发表于: 2013-09-01
    好帖子,学习了