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    [讨论]折叠式光刻物镜 [复制链接]

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    离线bruce45
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    只看该作者 20楼 发表于: 2013-02-04
    看看了
    离线phoenixzqy
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    只看该作者 21楼 发表于: 2013-04-13
    回 bruce45 的帖子
    bruce45:看看了(2013-02-04 12:12)嬀/color] W^;4t3eQf  
    EuVA"~PA  
    欢迎讨论!
    离线darkwzj
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    只看该作者 22楼 发表于: 2013-04-17
    请问 您主要从哪些方面来评价像质的呢? olHmRJ  
    您的设计指标中 对像质是如何要求的? ,x3< a}J  
    另外NA不到0.1是指物方的么?还是像方?
    离线phoenixzqy
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    只看该作者 23楼 发表于: 2013-04-17
    回 darkwzj 的帖子
    darkwzj:请问 您主要从哪些方面来评价像质的呢? (;N#Gqb6l  
    您的设计指标中 对像质是如何要求的? =6qSo @  
    另外NA不到0.1是指物方的么?还是像方? (2013-04-17 20:43)  7VLn$q]:  
    $?OQtz@  
    像质的评价标准就那么几个。点列图 mtf   或者可以看一下psf 7G Jhc  
    这个系统时要做到衍射极限的,看点列图没太大意义。看mtf和衍射极限就行了。 tCj\U+;  
    na我也记不清楚是哪方的了。很早之前做的了
    离线darkwzj
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    只看该作者 24楼 发表于: 2013-04-17
    回 phoenixzqy 的帖子
    phoenixzqy:像质的评价标准就那么几个。点列图 mtf 或者可以看一下psf J c:j7}OOV  
    这个系统时要做到衍射极限的,看点列图没太大意义。看mtf和衍射极限就行了。 .6iJ:A6T  
    na我也记不清楚是哪方的了。很早之前做的了(2013-04-17 20:48)嬀/color] X/D% cQ6  
    v;s^j  
    感谢回答~
    离线phoenixzqy
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    只看该作者 25楼 发表于: 2013-04-17
    回 darkwzj 的帖子
    darkwzj:感谢回答~ (2013-04-17 21:29)  %WFZ&>en&  
    I=7 YAm[W  
    客气 常交流
    离线ciomplj
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    只看该作者 26楼 发表于: 2013-06-13
    学习学习~
    离线phoenixzqy
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    只看该作者 27楼 发表于: 2013-06-13
    瞎搞的,帮一个学生做的。
    离线chengzheng
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    只看该作者 28楼 发表于: 2013-08-31
    学习下,谢谢        
    离线hehexixi2211
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    只看该作者 29楼 发表于: 2013-09-01
    好帖子,学习了