[讨论]折叠式光刻物镜 [复制链接]

看看了

bruce45:看看了(2013-02-04 12:12)嬀/color] dOgc%(kz  

pg<cvok  
欢迎讨论！

请问 您主要从哪些方面来评价像质的呢？ /" &Jf}r  
您的设计指标中 对像质是如何要求的？ AX )dZdd  
另外NA不到0.1是指物方的么？还是像方？

darkwzj:请问 您主要从哪些方面来评价像质的呢？ k'1iquc#u  
您的设计指标中 对像质是如何要求的？ qMcOSZ%8J  
另外NA不到0.1是指物方的么？还是像方？ (2013-04-17 20:43)  }& e#b]&:*  

EwOi` g  
像质的评价标准就那么几个。点列图 mtf   或者可以看一下psf Lq5Eu$;r  
这个系统时要做到衍射极限的，看点列图没太大意义。看mtf和衍射极限就行了。 DI:"+KMq{  
na我也记不清楚是哪方的了。很早之前做的了

phoenixzqy:像质的评价标准就那么几个。点列图 mtf 或者可以看一下psf "yc_*R(pU  
这个系统时要做到衍射极限的，看点列图没太大意义。看mtf和衍射极限就行了。 m%G:|`f7  
na我也记不清楚是哪方的了。很早之前做的了(2013-04-17 20:48)嬀/color] ~xP4}gs1  

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感谢回答~

darkwzj:感谢回答~ (2013-04-17 21:29)  @3F4Lg6H|  

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客气 常交流

学习学习~

瞎搞的，帮一个学生做的。

学习下，谢谢        

好帖子，学习了