切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 光学系统设计：理论、仿真与系统检测 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 光学设计与光学元件 CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    1234
    • 10148阅读
    • 35回复

    [讨论]折叠式光刻物镜 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线phoenixzqy
    论坛版主
    发帖
    4352
    光币
    5478
    光券
    1
    只看该作者 10楼 发表于: 2012-10-01
    回 ilyhairpin 的帖子
    ilyhairpin:貌似很复杂哎(2012-09-30 17:10)嬀/color] P)7:G?OTx  
    {8b6M  
    还好。在专利基础上修改的。
    2024年6月28-30日于上海组织线下成像光学设计培训，欢迎报名参加。请关注子在川上光学公众号。详细内容请咨询13661915143（同微信号）
    回复
    举报
    离线deaneliu
    技术员
    发帖
    110
    光币
    170
    光券
    0
    只看该作者 11楼 发表于: 2012-10-03
    请问LZ，这是用什么软件做模拟的
    回复
    举报
    离线phoenixzqy
    论坛版主
    发帖
    4352
    光币
    5478
    光券
    1
    只看该作者 12楼 发表于: 2012-10-03
    回 deaneliu 的帖子
    deaneliu:请问LZ，这是用什么软件做模拟的(2012-10-03 14:46)嬀/color] @~ 6,8nQ  
    T<ka4  
    zemax oslo codev都可以的。
    2024年6月28-30日于上海组织线下成像光学设计培训，欢迎报名参加。请关注子在川上光学公众号。详细内容请咨询13661915143（同微信号）
    回复
    举报
    离线phoenixzqy
    论坛版主
    发帖
    4352
    光币
    5478
    光券
    1
    只看该作者 13楼 发表于: 2012-10-03
    回 deaneliu 的帖子
    deaneliu:请问LZ，这是用什么软件做模拟的(2012-10-03 14:46)嬀/color] dF+R q|n{  
    1 ~s$<  
    成像软件都可以。
    2024年6月28-30日于上海组织线下成像光学设计培训，欢迎报名参加。请关注子在川上光学公众号。详细内容请咨询13661915143（同微信号）
    回复
    举报
    离线hoxomo
    助理工程师
    发帖
    311
    光币
    172
    光券
    0
    只看该作者 14楼 发表于: 2012-11-22
    回 phoenixzqy 的帖子
    phoenixzqy:专利未修改之前，NA不到0.1；
    图中这个系统的设计要求是0.03~0.04.。 (2012-09-28 20:46)  ]-8yZWal  
    8?[#\KgH1  
    NA有点小啊，分辨率不高啊。
    回复
    举报
    离线phoenixzqy
    论坛版主
    发帖
    4352
    光币
    5478
    光券
    1
    只看该作者 15楼 发表于: 2012-11-22
    回 hoxomo 的帖子
    hoxomo:NA有点小啊，分辨率不高啊。(2012-11-22 16:40)嬀/color] &46 Ro|XE`  
    p<AzpkU,A  
    这个系统分辨率很高，不要只按na计算。你可以在zemax里模拟一下。
    2024年6月28-30日于上海组织线下成像光学设计培训，欢迎报名参加。请关注子在川上光学公众号。详细内容请咨询13661915143（同微信号）
    回复
    举报
    离线phoenixzqy
    论坛版主
    发帖
    4352
    光币
    5478
    光券
    1
    只看该作者 16楼 发表于: 2012-11-22
    回 hoxomo 的帖子
    hoxomo:NA有点小啊，分辨率不高啊。(2012-11-22 16:40)嬀/color] Q ^z&;%q1  
    +\@WOs  
    mtf@500仍大于0.35
    2024年6月28-30日于上海组织线下成像光学设计培训，欢迎报名参加。请关注子在川上光学公众号。详细内容请咨询13661915143（同微信号）
    回复
    举报
    离线hoxomo
    助理工程师
    发帖
    311
    光币
    172
    光券
    0
    只看该作者 17楼 发表于: 2012-11-30
    回 phoenixzqy 的帖子
    phoenixzqy:mtf@500仍大于0.35 (2012-11-22 20:40)  'QrvkQ  
    &bO5+[  
    那挺不错的
    回复
    举报
    离线ekisyou
    助理工程师
    发帖
    498
    光币
    264
    光券
    0
    只看该作者 18楼 发表于: 2012-12-08
    封装上面用的吗
    回复
    举报
    离线phoenixzqy
    论坛版主
    发帖
    4352
    光币
    5478
    光券
    1
    只看该作者 19楼 发表于: 2012-12-24
    回 ekisyou 的帖子
    ekisyou:封装上面用的吗(2012-12-08 22:11)嬀/color] Y~</vz+H  
    4a&*?=GG  
    投影光刻上用的。紫外光刻。
    2024年6月28-30日于上海组织线下成像光学设计培训，欢迎报名参加。请关注子在川上光学公众号。详细内容请咨询13661915143（同微信号）
    回复
    举报
    发帖 回复
    返回列表
    1234