[讨论]折叠式光刻物镜 [复制链接]

看看了

bruce45:看看了(2013-02-04 12:12)嬀/color] yA0Y 14\*  

5=.7\#D  
欢迎讨论！

请问 您主要从哪些方面来评价像质的呢？ 9<~,n1b>x  
您的设计指标中 对像质是如何要求的？ 8tC+ lc  
另外NA不到0.1是指物方的么？还是像方？

darkwzj:请问 您主要从哪些方面来评价像质的呢？ ,K`E&hS  
您的设计指标中 对像质是如何要求的？ ,,zd.9n  
另外NA不到0.1是指物方的么？还是像方？ (2013-04-17 20:43)  MP_A<F  

|qQ{8T%)  
像质的评价标准就那么几个。点列图 mtf   或者可以看一下psf f&+XPd %  
这个系统时要做到衍射极限的，看点列图没太大意义。看mtf和衍射极限就行了。 nmTm(?yE  
na我也记不清楚是哪方的了。很早之前做的了

phoenixzqy:像质的评价标准就那么几个。点列图 mtf 或者可以看一下psf Q#yu(  
这个系统时要做到衍射极限的，看点列图没太大意义。看mtf和衍射极限就行了。 U.zRIhA]  
na我也记不清楚是哪方的了。很早之前做的了(2013-04-17 20:48)嬀/color] 1NE!=;VOl  

y^EF<<\  
感谢回答~

darkwzj:感谢回答~ (2013-04-17 21:29)  X,iuz/Q  

^t^<KL;  
客气 常交流

学习学习~

瞎搞的，帮一个学生做的。

学习下，谢谢        

好帖子，学习了