[讨论]折叠式光刻物镜 [复制链接]

看看了

bruce45:看看了(2013-02-04 12:12)嬀/color] 3I?yRE
 

Kc9)Lzu+  
欢迎讨论！

请问 您主要从哪些方面来评价像质的呢？ :Z ]E:f0P  
您的设计指标中 对像质是如何要求的？ 1?+)T%"  
另外NA不到0.1是指物方的么？还是像方？

darkwzj:请问 您主要从哪些方面来评价像质的呢？ $X&OGTlw^  
您的设计指标中 对像质是如何要求的？ :* /``  
另外NA不到0.1是指物方的么？还是像方？ (2013-04-17 20:43)  .r*b+rc;]  

?R{?
Qv  
像质的评价标准就那么几个。点列图 mtf   或者可以看一下psf 6nSk,yE'hE  
这个系统时要做到衍射极限的，看点列图没太大意义。看mtf和衍射极限就行了。 TAC\2*bWje  
na我也记不清楚是哪方的了。很早之前做的了

phoenixzqy:像质的评价标准就那么几个。点列图 mtf 或者可以看一下psf \ +xIH  
这个系统时要做到衍射极限的，看点列图没太大意义。看mtf和衍射极限就行了。 bv4cw#5z$9  
na我也记不清楚是哪方的了。很早之前做的了(2013-04-17 20:48)嬀/color] Xbtv}g<0c  

>C}RZdO~  
感谢回答~

darkwzj:感谢回答~ (2013-04-17 21:29)  8Q -F  

 vB*oI~<  
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学习学习~

瞎搞的，帮一个学生做的。

学习下，谢谢        

好帖子，学习了