切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 光学手册（上、下册，李景镇） 光学元件微纳制造与精密检测技术 Zemax光学设计从入门到精通(中文版) 现代光学与光子学技术
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 微小光学与微透镜阵列 光学设计与光学元件 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 2075阅读
    • 0回复

    [下载]非对称双极脉冲反应磁控溅射制备TiN/ZrN多层膜 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线chenchao
    实习生
     
    发帖
    61
    光币
    226
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2011-12-18
    关键词： 纳米磁控溅射射线
    非对称双极脉冲反应磁控溅射制备TiN/ZrN多层膜摘要：采用非对称双极脉冲磁控溅射制备了一系列不同调制周期的 Ti N /Zr N纳米多层膜 ,利用 X射线衍射分析(XRD)、 纳米压痕仪、 扫描电子显微镜 ( SEM)表征了薄膜的微观结构、 力学性能和断口形貌。结果表明 ,在调制周期为 30 nm时 ,纳米硬度达到 38 GPa。 :+ "JPF4X  
    x_H"<-By  
    关键词：纳米多层膜；力学性能；调制周期
    附件: 非对称双极脉冲反应磁控溅射制备TiN_ZrN多层膜.rar (485 K) 下载次数:2 ，售价:2光币[记录]
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表