公司信息简介:
}`QUHIF 上海微电子装备有限公司主要致力于大规模工业生产的投影光刻机研发、生产、销售与服务,公司产品可广泛应用于IC制造与先进封装、MEMS、TSV/3D、TFT-OLED等制造领域。
q`H_M{26!y SMEE拥有一支500多人的多学科、高技术的人才队伍和完善的产品开发手段和设备,以及支撑微电子装备研发的
光学、机械、电气控制、微环境等多学科软硬件测控技术平台,可进行集成电路关键设备—光刻机的设计、制造集成、测试和工艺试验,技术涉及光学、结构、动力学、精密运动和控制、
软件工程、精密测量、微环境控制等众多领域。
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