光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 AIR VvW~($
一、真空腔室内部及各部件的清理 #Ko+_Hm?4
1.腔室内部防护板 /K Jx n6
周期：每月清理一次 7Hr4yh[j&
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 ay7+H7^|hZ
2.离子源清洗 1+PNy d
周期：50~100小时 u_/OTy
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） E6wST@ r
B.各个零件进行喷砂，其中： Q,M/R6i-
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 \SH D
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 !\D] \|Bo
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 Pi]s<3PL
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 {$QF*j
3.真空计清理 dO4U9{+
周期：六个月清理一次 nD?M;XN
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 &0<R:K ?>N
4.冷泵再生 nLN6@
周期：一个月 k
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二、各计量部件校准 @*`UOgP7
1、真空计 z&HN>7
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 tU~ H@'
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） F# 37Qv
A.光源性能检查 m LxwJ
周期：50小时一次 `))J8j"
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 &fNE9peQFa
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 yOCcp+`T}
B.光学监控系统的稳定性 F+m4
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 uL2 {v
检查条件： XGup,7e9
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 3b[[2x_UU
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 p$!+2=)gY
③测定波长：550nm I9j+x ])
C.波长精确度及再现性 Kd[`mkmS
周期：2年一次 M0IqQM57N
合格标准 Vi - !E
波长精确度 ±1.0 nm !m O] zn
波长再现度 ±0.25 nm
