供应用于制作光纤光栅的全息刻蚀的Lasiris相位掩模板

发布:sungn 2010-11-19 15:53 阅读:2786
相位掩模板(PM:Phase Mask)其实质就是一个在石英衬底上制作的位相光栅,可以通过对入射光的位相调制,衰减或消除零级衍射,并提高某一衍射级次的衍射效率。用相位掩模板制作光纤光栅的原理就是,用UV光照射相位掩模板,然后利用衍射光束之间的干涉,在掩模板后面形成周期的光强分布,从而在光纤的纤芯引起周期性的折射率调制。如图所示。 S8AbLl9G@>  
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F_:W u,dUZ  
Lasiris是世界上第一个使相位掩模板商业化的公司,1999年被实力雄厚的StockerYale收购,并得到了更大的发展。其特点包括: 5)Z=FUupA~  
一是制作工艺采用全息记录的方式而不是电子束刻蚀的方式,减少了由于“接缝误差”引起的旁瓣效应。 B ZU@W%E  
二是基底材料采用熔融石英,损伤阈值比较高(一般情况下都要比照射的激光光强要大。 `\(co;:  
三是长PM可以做的较长,最长可达120mm。 .$p eq  
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Lasiris TM 相位掩模板的基本参数如下: (L4llZ;q  
工作波长       190 - 800 nm YSxr(\~j   
pm周期        0.4 - 1.2 μm i Ehc<  
模板周期精度     ±0.3 nm (±0.1 nm可选) `Eg X#  
周期测量精度     ± 0.02 nm QaLaw-lx  
基底/窗口尺寸   可根据要求定制 O9N!SQs80  
啁啾范围(啁啾)   0.03 nm/cm - 40 nm/cm 'eBD/w5U  
啁啾精度           0.005nm/cm - 1 nm/cm(随啁啾改变) }=f\WWJf0  
损伤阈值        优于1 j/cm^2(248nm,50hz脉冲光的光强) #xx.yn(7  
衍射效率        0级衍射<=3 % , ±1级衍射>=33 % ~m<K5K6 V  
                0级衍射<=1.0 % ,±1级衍射>=35 %(可选) G0h&0e{w  
AR coating       可选 #@-dT,t  
楔形角          < 30 arcsec r{?qvl!q  
衬底材料       康宁7980, 熔融透明石英 BYdG K@ouk  
厚度           3.175 mm ± 0.125 mm KW'nW  
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北京路科锐威科技有限公司,欢迎来电垂询!我们将竭诚为您服务!   VXZYRr3F  
网址:www.tricombj.com 00IW9B-  
联系人:孙小姐   联系电话:010-58858423-114 g]h@U&`~u_  
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关键词: 光纤光栅模板
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