供应用于制作光纤光栅的全息刻蚀的Lasiris相位掩模板

相位掩模板（PM：Phase Mask）其实质就是一个在石英衬底上制作的位相光栅，可以通过对入射光的位相调制，衰减或消除零级衍射，并提高某一衍射级次的衍射效率。用相位掩模板制作光纤光栅的原理就是，用UV光照射相位掩模板，然后利用衍射光束之间的干涉，在掩模板后面形成周期的光强分布，从而在光纤的纤芯引起周期性的折射率调制。如图所示。 64 wv<r]5j  

图片:PM制作FBG示意图.jpg

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Lasiris是世界上第一个使相位掩模板商业化的公司，1999年被实力雄厚的StockerYale收购，并得到了更大的发展。其特点包括： a_^\=&?'  
一是制作工艺采用全息记录的方式而不是电子束刻蚀的方式，减少了由于“接缝误差”引起的旁瓣效应。 n:I,PS0H<  
二是基底材料采用熔融石英，损伤阈值比较高（一般情况下都要比照射的激光光强要大。 q5J5>  
三是长PM可以做的较长，最长可达120mm。 s0TORl6Z|  

图片:长相位掩模板.jpg

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Lasiris TM 相位掩模板的基本参数如下： ?um;s-x)  
工作波长       190 - 800 nm rQ{7j!Im  
pm周期        0.4 - 1.2 μm .FP$m?  
模板周期精度     ±0.3 nm (±0.1 nm可选) ^&9zw\x;z  
周期测量精度     ± 0.02 nm /e5O"@  
基底/窗口尺寸   可根据要求定制 T8?Ghbn  
啁啾范围(啁啾)   0.03 nm/cm - 40 nm/cm p;`>e>$  
啁啾精度           0.005nm/cm - 1 nm/cm（随啁啾改变） 7~G9'P<  
损伤阈值        优于1 j/cm^2（248nm，50hz脉冲光的光强） P8OaoPj  
衍射效率        0级衍射<=3 % , ±1级衍射>=33 % wQ:)KjhHH  
                0级衍射<=1.0 % ，±1级衍射>=35 %（可选） {Y(zd
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AR coating       可选 "=HA Y  
楔形角          < 30 arcsec <VMGTBVQ  
衬底材料       康宁7980， 熔融透明石英 ,i^9 |Oeq  
厚度           3.175 mm ± 0.125 mm =g7x' kN  
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