EMD代理美国SCI高精准薄膜度量系统与软件分析 产品

EMD代理美国SCI高精准薄膜度量 系统 与 软件分析 产品 Su7?-vY  
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美国SCI为世界薄膜度量系统和分析软件行业的领军者， "<WSEs  
其产品广泛应用于半导体，OLED/LCD, 光电，数据存储，显示器，微型机电系统以及光附膜产业，SCI的薄膜特性度量系统品种丰富，从台式研发设备到全自动生产工具以及分析/设计软件应有尽有。 AUK7a  
1)    Film Wizard? 软件 : 市面上功能最强大的，多用途，界面友好的薄膜测试模拟软件 T9^i#8-^  
应用实例，目前已经有多套Film Wizard?软件应用于中国光电，半导体行业的研发和生产行业。 C&T3vM  
2) FilmTek? 系统: 为SCI出产的基于分光光度技术的度量系统，有多种不同配置，配合不同需求. 4C:YEX~  
1.多层厚度（1? 到 250 microns） )".gjW8{#L  
2.折射率n 5a/)
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3.吸收系数k }!LYV  
4.双折射率 U#}.r<  
5.能隙（Eg） ?cvv!2B]T  
6.表面粗糙度和损伤 v\c3=DbO  
7.多孔性，薄膜成份，结晶度（EMA模式） gyK"#-/_d  
8.薄膜温度特性 Q7\Ax0  
9.晶元曲率和薄膜耐压性 3kMiC$  
技术参数 D-.>Dw:  
1. 厚度测试范围: 1? to 250 microns ,]MX&]  
2. 重复性：      ± 0°（△）   dXj.e4,m  
3. 折射率精度：  ± 2*10-5 /d4xHt5a  
4. 光谱范围:     380nm~1000nm（190nm~1700nm可选 ） <3bh-
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5. 入射角:       0°（70°可选） kLhtkuS4  
6. 测试速度：    小于 15 s /dqKFxB1  
7. 光斑直径：    小于 50 nm  P/Zo  
应用实例，上海***研发中心2007年成功引进SCI的FilmTek?2000。 sw1XN?O  
详细信息请电话或邮件联系EMD上海办事处或前往SCI网站查询，联系方式如下： zM!*r~*k$  
电话021-61021226转820/818    王小姐/陈先生 'e)t+  
邮件：wangdongmei@eccn.com/benchan@eccn.com Oq("E(z+f  
SCI 网址：http://www.sci-soft.com ~$$V=$&