EMD代理美国SCI高精准薄膜度量系统与软件分析 产品

发布:sbisna 2009-04-27 12:36 阅读:2719
EMD代理美国SCI高精准薄膜度量 系统 与 软件分析 产品 /\c'kMAW!  
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美国SCI为世界薄膜度量系统和分析软件行业的领军者, pA6KiY&  
其产品广泛应用于半导体,OLED/LCD, 光电,数据存储,显示器,微型机电系统以及光附膜产业,SCI的薄膜特性度量系统品种丰富,从台式研发设备到全自动生产工具以及分析/设计软件应有尽有。 80Dn!9j*  
1)    Film Wizard? 软件 : 市面上功能最强大的,多用途,界面友好的薄膜测试模拟软件 /{\ /e"5  
应用实例,目前已经有多套Film Wizard?软件应用于中国光电,半导体行业的研发和生产行业。 ]7O<|8n!d  
2) FilmTek? 系统: 为SCI出产的基于分光光度技术的度量系统,有多种不同配置,配合不同需求. D&" D[|@  
1.多层厚度(1? 到 250 microns) n7cy[%yT  
2.折射率n x}yl Rg`[  
3.吸收系数k :<t=??4m  
4.双折射率 \</!kY*3@t  
5.能隙(Eg) #GE]]7:Na  
6.表面粗糙度和损伤 <qwf"Ey  
7.多孔性,薄膜成份,结晶度(EMA模式) -2M~KlYl  
8.薄膜温度特性 =~GP;=6  
9.晶元曲率和薄膜耐压性 z#^fS |  
技术参数 1)56ec<c  
1. 厚度测试范围: 1? to 250 microns 5 wrRtzf  
2. 重复性:      ± 0°(△)   |oi+|r  
3. 折射率精度:  ± 2*10-5 ^_;'9YD  
4. 光谱范围:     380nm~1000nm(190nm~1700nm可选 ) WVdV:vJ-  
5. 入射角:       0°(70°可选) }OpUG  
6. 测试速度:    小于 15 s +?$J8Paf  
7. 光斑直径:    小于 50 nm >u?.gJm~  
应用实例,上海***研发中心2007年成功引进SCI的FilmTek?2000。 rm8Ys61\=  
详细信息请电话或邮件联系EMD上海办事处或前往SCI网站查询,联系方式如下: QQM:[1;RT  
电话021-61021226转820/818    王小姐/陈先生 P>V oA  
邮件:wangdongmei@eccn.com/benchan@eccn.com Aqmpo3P[+  
SCI 网址:http://www.sci-soft.com tWIs |n  
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