代理SCI高精准薄膜度量系统与软件分析 产品

+zf[Im%E  
he\
pW5p  
EMD代理美国SCI高精准薄膜度量 系统 与 软件分析 产品 |b'}.(/3i  
X&14;lu%p  
美国SCI为世界薄膜度量系统和分析软件行业的领军者， 8.m9 =+)8  
其产品广泛应用于半导体，OLED/LCD, 光电，数据存储，显示器，微型机电系统以及光附膜产业，SCI的薄膜特性度量系统品种丰富，从台式研发设备到全自动生产工具以及分析/设计软件应有尽有。 y8arFG  
1)    Film Wizard™ 软件 : 市面上功能最强大的，多用途，界面友好的薄膜测试模拟软件 ]]^eIjg>a6  
应用实例，目前已经有多套Film Wizard™软件应用于中国光电，半导体行业的研发和生产行业。 #M~6A^)  
2) FilmTek™ 系统: 为SCI出产的基于分光光度技术的度量系统，有多种不同配置，配合不同需求. bc}BQ|Q  
1.多层厚度（1Å 到 250 microns） yJn<S@)VT:  
2.折射率n \\UO
p
l  
3.吸收系数k 0M
u6R=s  
4.双折射率 &=S<StH  
5.能隙（Eg） sRkPXzK  
6.表面粗糙度和损伤 _ ,~D]JYE  
7.多孔性，薄膜成份，结晶度（EMA模式） %;MM+xVVX  
8.薄膜温度特性
f~?4  
9.晶元曲率和薄膜耐压性 sf5F$  
技术参数 Rw!wfh_+  
1. 厚度测试范围: 1Å to 250 microns G~nQR qv  
2. 重复性：      ± 0°（△）   *P0sl( &  
3. 折射率精度：  ± 2*10-5 d;FOmo4  
4. 光谱范围:     380nm~1000nm（190nm~1700nm可选 ） ,|G~PC8  
5. 入射角:       0°（70°可选） * ,#SwZ  
6. 测试速度：    小于 15 s %
db  
7. 光斑直径：    小于 50 nm 15\k/[3 #  
应用实例，上海***研发中心2007年成功引进SCI的FilmTek™2000。 }LTyXo  
详细信息请电话或邮件联系EMD上海办事处或前往SCI网站查询，联系方式如下： Nm4 h  
电话021-61021226转820/818    王小姐/陈先生 # ;3v4P  
邮件：wangdongmei@eccn.com/benchan@eccn.com Yx"un4  
SCI 网址：http://www.sci-soft.com h= Mmd