代理SCI高精准薄膜度量系统与软件分析 产品

发布:sbisna 2009-02-23 14:04 阅读:2756
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EMD代理美国SCI高精准薄膜度量 系统 与 软件分析 产品 E+P-)bRa  
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美国SCI为世界薄膜度量系统和分析软件行业的领军者, e|4U2\&3y  
其产品广泛应用于半导体,OLED/LCD, 光电,数据存储,显示器,微型机电系统以及光附膜产业,SCI的薄膜特性度量系统品种丰富,从台式研发设备到全自动生产工具以及分析/设计软件应有尽有。 ,yTT,)@<  
1)    Film Wizard™ 软件 : 市面上功能最强大的,多用途,界面友好的薄膜测试模拟软件 9n;6;K#  
应用实例,目前已经有多套Film Wizard™软件应用于中国光电,半导体行业的研发和生产行业。 ?zK\!r{  
2) FilmTek™ 系统: 为SCI出产的基于分光光度技术的度量系统,有多种不同配置,配合不同需求. P]H4!}M  
1.多层厚度(1Å 到 250 microns) m 3Do+!M[  
2.折射率n \;0UP+  
3.吸收系数k C,,S<=L:  
4.双折射率 8[x{]l[  
5.能隙(Eg) 89ab?H}/  
6.表面粗糙度和损伤 Mc 6v  
7.多孔性,薄膜成份,结晶度(EMA模式) i*e'eZ;)  
8.薄膜温度特性 bl[2VM7P  
9.晶元曲率和薄膜耐压性 ^`fqK4<  
技术参数 EO"G(v  
1. 厚度测试范围: 1Å to 250 microns r[3 2'E  
2. 重复性:      ± 0°(△)   CzI/Z+\  
3. 折射率精度:  ± 2*10-5 ]f*.C9Y  
4. 光谱范围:     380nm~1000nm(190nm~1700nm可选 ) PDpDkcy|QM  
5. 入射角:       0°(70°可选) JxQGL{) >  
6. 测试速度:    小于 15 s nw=:+?  
7. 光斑直径:    小于 50 nm P=.T|l1  
应用实例,上海***研发中心2007年成功引进SCI的FilmTek™2000。 3e1^r_YI  
详细信息请电话或邮件联系EMD上海办事处或前往SCI网站查询,联系方式如下: t{O2JF#5u  
电话021-61021226转820/818    王小姐/陈先生 14yzGhA  
邮件:wangdongmei@eccn.com/benchan@eccn.com c> ":g~w  
SCI 网址:http://www.sci-soft.com QVe<Z A8N;  
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