代理SCI高精准薄膜度量系统与软件分析 产品

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EMD代理美国SCI高精准薄膜度量 系统 与 软件分析 产品 &w0=/G/T=~  
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美国SCI为世界薄膜度量系统和分析软件行业的领军者， A
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其产品广泛应用于半导体，OLED/LCD, 光电，数据存储，显示器，微型机电系统以及光附膜产业，SCI的薄膜特性度量系统品种丰富，从台式研发设备到全自动生产工具以及分析/设计软件应有尽有。 Z-|C{1}A  
1)    Film Wizard™ 软件 : 市面上功能最强大的，多用途，界面友好的薄膜测试模拟软件 G C'%s  
应用实例，目前已经有多套Film Wizard™软件应用于中国光电，半导体行业的研发和生产行业。 ?U08A{ c  
2) FilmTek™ 系统: 为SCI出产的基于分光光度技术的度量系统，有多种不同配置，配合不同需求. "^z=r]<5  
1.多层厚度（1Å 到 250 microns） md"%S-a_dT  
2.折射率n !j9i=YDb  
3.吸收系数k / yi:Q0  
4.双折射率 P;%QA+%7  
5.能隙（Eg） v|@n8ED|@K  
6.表面粗糙度和损伤 cEdJn
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7.多孔性，薄膜成份，结晶度（EMA模式） 8>q%1]X  
8.薄膜温度特性 "6yiQ\`J  
9.晶元曲率和薄膜耐压性 qD*\}b]9I  
技术参数 Y}uQ`f  
1. 厚度测试范围: 1Å to 250 microns 6# ";W2  
2. 重复性：      ± 0°（△）   ~,2hP ~  
3. 折射率精度：  ± 2*10-5 M7R&J'SAY  
4. 光谱范围:     380nm~1000nm（190nm~1700nm可选 ） W_\L_)^X  
5. 入射角:       0°（70°可选）
T''+zk  
6. 测试速度：    小于 15 s C-u/{CP  
7. 光斑直径：    小于 50 nm k{jw%a<Sc  
应用实例，上海***研发中心2007年成功引进SCI的FilmTek™2000。 c)MR+'d\WO  
详细信息请电话或邮件联系EMD上海办事处或前往SCI网站查询，联系方式如下： 2nkj;x{H$  
电话021-61021226转820/818    王小姐/陈先生 ~[TKVjyO  
邮件：wangdongmei@eccn.com/benchan@eccn.com VtiqAh}4  
SCI 网址：http://www.sci-soft.com %J7mZB9