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五维光学调整架 b+Vfi9<  
技术参数： U*(/eEtd-  
1. X,Y,Z移动距离分别为: ~"|MwR!0  
      X向: ±7.5mm ;)$bhNFHx  
      Y向: ±9   mm js;p7wi  
      Z向: ±10 mm Zgy~Y0Di  
2. 运动精度:在各方向运行范围内,直线度误差小于0.005; E6JfSH
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                   X,Y方向运动15mm范围内在Z向的分量小于 @+Yql  
                   0.005 !xk`o
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3. 三爪机构夹持范围 Ø10~ Ø 130 Z.'j7(tu  
4. X,Y偏摆机构,偏摆范围不小于5° H1>~,zc>E  

图片:IMG_2243.jpg

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图片:IMG_2245.jpg

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图片:IMG_2246.jpg