我这里有一台国投南光的1100型的镀膜机目前高真空实在是抽不动了 ,但找不到原因。前段时间抽真空的时间如下: ,M&[c|
低真空时间: X`k[ J6
0000——3.0 E0 8分钟 SggS8$a`
但此时不能开启高阀 Zj8aD-1]U^
低真空必须到80E-1才可以开高阀,不然会出现反抽
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0000——8.0E-1 65分钟 Ng3 MfbFG
高真空时间: DHV#PLbN$
8.0E-1——4.8E-3 65分钟 <ctn_"p Z
4.8E-3¬——4.5E-3 20分钟(熔料) 0oi
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4.5E-3——2.5E-3 60分钟 xFY;aK
抽真空环境: &~7b-foCq
温度:26℃-28℃ 5? s$(Lt~
湿度:45% ctL@&~*nY
烘烤温度:280℃(低阀开启时加烘烤) ]l'W=_XDg
可是现在不知道为什么抽不动了。 x1kb]0s<-
主要表现在 {>cO&eiCt
0000——3.0 E0 8分钟 WeTs va+
真空在8.5E-1就抽不动了,开高阀就出现反抽。 rE
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使用丙酮检漏没有发现漏点。 ?q<"!U|e
扩散泵油很好,很清亮。 |mfQmFF
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