我这里有一台国投南光的1100型的镀膜机目前高真空实在是抽不动了 ,但找不到原因。前段时间抽真空的时间如下: *bl*R';
低真空时间:
AE_7sM
0000——3.0 E0 8分钟 }\9elVt'2
但此时不能开启高阀 1YGj^7V)|Z
低真空必须到80E-1才可以开高阀,不然会出现反抽 ^[7ZB mS
0000——8.0E-1 65分钟 Ddf7wszW
高真空时间: u x[h\Tp
8.0E-1——4.8E-3 65分钟 ^`W8>czi
4.8E-3¬——4.5E-3 20分钟(熔料) +w(sDH~kd
4.5E-3——2.5E-3 60分钟 bJ[{[|yEd
抽真空环境: OZ/P@`kN.f
温度:26℃-28℃ A,tmy',d"
湿度:45% P,$|.pd'
烘烤温度:280℃(低阀开启时加烘烤) %Fh*$gzh*5
可是现在不知道为什么抽不动了。 qoNVp7uv
主要表现在 q'07
0000——3.0 E0 8分钟 kIm)Um
真空在8.5E-1就抽不动了,开高阀就出现反抽。 6' 9ITA
使用丙酮检漏没有发现漏点。 Mw0Kg9M
扩散泵油很好,很清亮。 duCso M/
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