[求助]我的镀膜机抽不动了，请达人！ [复制链接]

我这里有一台国投南光的1100型的镀膜机目前高真空实在是抽不动了 ，但找不到原因。前段时间抽真空的时间如下： %(P\"hE'  
低真空时间: 9<" .
1  
0000——3.0 E0        8分钟 z PW[GkD  
但此时不能开启高阀 #NvL@bH  
低真空必须到80E-1才可以开高阀，不然会出现反抽 >*wF~G*k  
0000——8.0E-1        65分钟 7])cu>/  
高真空时间: brdfjE8  
8.0E-1——4.8E-3      65分钟    dj;Zzt3  
4.8E-3¬——4.5E-3      20分钟（熔料） O(_a6s+m  
4.5E-3——2.5E-3      60分钟    P3W<a4 ==  
抽真空环境： 34Fc oud);  
  温度：26℃-28℃ 5n1aRA1  
  湿度：45% +=N!37+G  
  烘烤温度：280℃（低阀开启时加烘烤） <*Ex6/j  
可是现在不知道为什么抽不动了。 e7$ZA#A_5v  
主要表现在 +H4H$H  
0000——3.0 E0        8分钟 }+m")=1{  
真空在8.5E-1就抽不动了，开高阀就出现反抽。 O'WBO"  
使用丙酮检漏没有发现漏点。 $;V?xZm[  
扩散泵油很好，很清亮。 FG6bKvEQm^  
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&yabxl_  

及盼能解决的办法！

那你的机械泵是不是有问题，检查下机械泵的能力。

不像是机械泵的问题，因为低抽看起还正常。油加热温度不够，检查低阀关完了没有，有可能是阀门内漏气！

油温一直维持在247℃ -246℃ 之间，两个泵都是。高阀我也检查了，没有漏气的现象。目前好郁闷，不知道从那个方面下手了！！！！（TO:zzh1011 低阀显示关闭到位,要不我开不了高阀啊！)

冷却水温也较正常。入水20℃-23℃出水29℃-32℃

我不知道说的对不对，你的机器用了多和时间了？机械泵换过油没有？ M$$Lsb [  
  南光的机械泵有一个最大的毛病，就是在里面有一个蓄水槽，时间长了里面全都是水，影响抽速。 H/''lI{k)  
你检查一下，

机械泵已洗，蓄水槽是有很多水！！！油也换了！！可是………………可是………………还是没有多大的改观

低真空时间: oYAHyCkVq  
0000——3.0 E0        8分钟  1"S~#  
但此时不能开启高阀 C17$qdV/  
低真空必须到80E-1才可以开高阀，不然会出现反抽  ^E&WgXlb  
这个现象我觉得很不正常，不知道怎么处理！！ :6jh*,OHZl  
这两天我单独测量了一下扩散泵的真空度，感觉还可以一个3.6E-4,一个1.2E-4（维持泵3小时）

看看你的扩散泵油有没有氧化