o&(wg(Rv Y3#Nux% 膜裂一般是由应力产生的,一般来讲,张力会造成膜裂。
v,/[&ASz 而在常温下,SiO2表现为张力,TiO2表现为压力。
/@ y;iJk; 所以按原理来讲,第一层镀TiO2对膜裂的改善会比较好。
aWyUu/g<A` XDPL;(? 而且从附件论文的数据来看,开IAD比不开要好。
'3A+"k-}mh /b{o3, #.M 但是如果膜裂是由吸水造成的,那又是另外一种情况。
z;i4N3-: 最好用卤素灯加热一下,镀膜前再离子源打一下做一下表面的清洁。
,i?) 只要不超过90度是没什么问题的。
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