!22yvT.;[
6xoq;=o 膜裂一般是由应力产生的,一般来讲,张力会造成膜裂。
%JtbRs(~q 而在常温下,SiO2表现为张力,TiO2表现为压力。
.e@> 所以按原理来讲,第一层镀TiO2对膜裂的改善会比较好。
<\" .L A3HF,EG 而且从附件论文的数据来看,开IAD比不开要好。
i(*I@ku '_dzcN,z 但是如果膜裂是由吸水造成的,那又是另外一种情况。
w1r$='*I 最好用卤素灯加热一下,镀膜前再离子源打一下做一下表面的清洁。
w5*Z! 只要不超过90度是没什么问题的。
[ 此帖被ouyuu在2021-02-11 15:31重新编辑 ]