[求助]镜片膜裂问题 [复制链接]

1. 打底层最好用TiO2 &N,c:dNe  
2. 机器不要加温，把能量放到IBS这边； ,>)/y
  
3. IBS的能量要有一个梯度 1L3L!@  
4. 整个镀膜后的温度要用测温纸测一下，以此来判断你IBS的energy是否合理

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膜裂一般是由应力产生的，一般来讲，张力会造成膜裂。 a *>$6H;  
而在常温下，SiO2表现为张力，TiO2表现为压力。 -(dc1?COi  
所以按原理来讲，第一层镀TiO2对膜裂的改善会比较好。 +Bgy@.a?  
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而且从附件论文的数据来看，开IAD比不开要好。 v. !L:1@I.  
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但是如果膜裂是由吸水造成的，那又是另外一种情况。 GC.   
最好用卤素灯加热一下，镀膜前再离子源打一下做一下表面的清洁。 4~DoqT  
只要不超过90度是没什么问题的。

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