主要镀膜材料及其性能和用途 c}[+h5
名称 折射率 透光范围 蒸发温度(℃) 蒸发源 应用 >a1{397Y}
三氧化二铝 1.62/550nm 200~5000 2000-2200 电子枪 增透膜、多层膜 _U{([M>;
氟化铈 1.63/500nm 300~5000 1429 钼,钽,电子枪 增透膜、多层膜 }tPk@$
氧化铈 2.35/500nm 400~16000 1950 电子枪 增透膜 +,v-=~5
冰晶石 1.33/500nm 250~14000 1000 钼,钽,电子枪 增透膜 <`!PCuR
氧化铪 1.95/500nm 230~7000 2500 电子枪 紫外-近红外多层膜 c9j*n;Q
透明导电膜料 2.0/500nm 400~800 1450 电子枪,Al2O3 透明导电膜 uY<
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氟化钙 1.23-1.42/550nm 150~12000 1280~1400 钼,钽,钨 增透膜 jKZt~I
氟化镁 1.38/550nm 130~7000 1300~1600 钼,钽,钨 增透膜、多层膜 !GW,\y
氧化镁 1.7/500nm 200~8000 2000 电子枪 多层膜 >xA),^ YT
锆钛混合物 2.1/500nm 400~7000 2300 钨,电子枪 增透膜 =SD\Q!fA
氧化钪 1.89/500nm 250~5000 2430 电子枪 紫外多层膜 >/<:Q &
二氧化硅 1.45/500nm 200~2000 1600~2200 电子枪 多层膜 dr{y0`CCN
一氧化硅 1.55/550nm 600~8000 1200~1600 钼,钽,钨 增透膜、保护膜 9_fePS|Z4
五氧化二钽 2.1/500nm 400~7000 1950 电子枪 增透膜 fWF|,A>>b
一氧化钛 2.35/500nm 400~12000 1700~2000 电子枪 多层膜、分光膜 M=xQ=j?
二氧化钛 2.35/500nm 400~12000 2200 电子枪 增透膜、多层膜 tn|,O.t
氧化钇 1.87/550nm 400~8000 2500 电子枪 增透膜、多层膜 0)9"M.AIvo
氧化锆 2.05/500nm 250~7000 2500 电子枪 增透膜、多层膜 eQO#Qso]
三氧化二钛 2.35/500nm 400~12000 1800~2000 钽,钨电子枪 增透膜、多层膜 ;nmM7TZ;
氟化钡 1.4/10600nm 220~11000 1280 钼,钽,铂 紫外-远红外膜、多层膜、增透膜 ^MD;"A<
氟化镧 1.58/500nm 220~14000 1450 钼,电子枪 增透膜 Aa?I8sbc
硅 3.4/3000nm 1000~9000 1500 电子枪 红外膜 fqs]<qi
锗 4.4/2000nm 1700~23000 1300~1500 电子枪,钨 红外膜 wFlvi=n/
硒化锌 2.58/550nm 600~15000 600~900 钼,钽,电子枪 红外膜 @c'|Iqy`
硫化锌 2.4/1200nm 400~14000 1100 钼,钽,电子枪 多层膜 "Lh
氟化钇 红外膜(10.61.49/632.8nm 200~15000 1100 钼 m)增透膜 ,}xbAA#
氟化镨 1.51/632.8nm 220~15000 红外膜(10.61400~1600 钼,电子枪 m)增透膜 zH=!*[d8
氟化铝 1.35/500nm 200~8000 800~1000 电子枪,钼,钽 紫外膜 ZyR_6n>L$
氟化铅 1.76/470nm 220~9000 700~1000 铂 紫外膜 u)Q;8$`
氧化钆 1.8/550nm 320~15000 2200 增透膜