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薄膜设计与镀膜工艺 6GSI"M6s 时间地点 3|4|*6 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司(微信公众号:讯技光电INFOTEK) [~#WG/!: 苏州黉论教育咨询有限公司(微信公众号:honglun-seminary) ,<tX%n`v= 课程时间: 2026/12/4(四)-12/6(日) [] `&vWZ 课程地点:上海讯技 *4+"Lh.KS 课程讲师:讯技光电工程团队成员 _%!c+f7 课程费用:4800RMB/1人次(包含课程材料费、开票税金、午餐费) {kCw+eXn? 课程简介: ?DQsc9y 随着现代科技的飞速发展,光学薄膜的应用越来越广泛。光学薄膜的发展极大地促进了现代光学仪器性能的提高,其种类非常广泛,如增透膜,高反膜,分光膜,滤光片等,光学薄膜器件如今已经广泛应用到光通信技术、光伏产业技术、激光技术、光刻技术、航空航天技术等诸多领域。 wq(7|!Eix 本次课程第一天主要为国际知名的光学薄膜分析软件Essential Macleod的使用,第二天为各种类型的光学薄膜的设计模拟方法,前两天主讲人为讯技光电高级工程师,第三天特别邀请上海光学精密机械研究所专家易葵,分享光学薄膜制备工艺、激光薄膜关键技术以及光学薄膜的测量方法等相关内容。 TKY*`?ct 易葵:中国科学院上海光机所正高级工程师,主要从事光学薄膜设计、制备工艺和测试相关方面的研究工作,尤其是在高功率激光薄膜、空间激光薄膜、X射线多层膜、真空镀膜技术与薄膜制备工艺研究等方面有较为深入的研究。获得国家技术发明奖二等奖、上海市技术发明奖一等奖、上海市科技进步二等奖、军队科技进步二等奖等奖项,入选2014年度中科院“现有关键技术人才”。 !K}~/9Z=m
:'3XAntZA 课程大纲: ?:8ido#- 1.Essential Macleod软件介绍 gVv>9W(' 1.1 介绍软件 UU mTOJr 1.2 创建一个简单的设计 1V4s<m># 1.3 绘图和制表来表示性能
$.PuK~} 1.4 通过剪贴板和文件导入导出数据 oe
|)oTv 1.5 可用的材料模型(Sellmeier, Cauchy, Drude, Lorentz, Drude-Lorentz, Hartmann) !^=*Jq> 1.6 特定设计的公式技术 E.ly#2? 1.7 交互式绘图 1[qLA!+ 2.光学薄膜理论基础 TYmP) 2.1 垂直入射时的界面和薄膜特性计算 bRJMYs 2.2 后表面对光学薄膜特性的影响 L,`Lggq- 3. 材料管理 }Q?c"H!/ 3.1 材料模型 6@e+C;j= 3.2 介质薄膜光学常数的提取 ;WM"cJo9 3.3 金属薄膜光学常数的提取 jN>{'TqW4 3.4 基板光学常数的提取 "B4;,+4kR 4. 光学薄膜设计优化方法 hMUs"
<. 4.1 参考波长与g 5b/|!{ 4.2 四分之一规则 2FF4W54I 4.3 导纳与导纳图 Wi2WRJdyu 4.4 斜入射光学导纳 u7[ykyV 4.5 光学薄膜设计的进展 ^m"u3b4 4.6 Macleod软件的设计与优化功能 3'qJ/*]9 4.6.1 优化目标设置 zj`v?#ET 4.6.2 优化方法(单一优化,合成优化,模拟退火法,共轭梯度法,准牛顿法,针形优化,差分演化法) Xr2ou5zAn 4.6.3 膜层锁定和链接 04'~ta(t 5. 光学薄膜系统设计与分析案例与应用 pr#z=vqH 5.1 减反射薄膜 7,|c 5.2 分光膜 ? glSC$b 5.3 高反射膜 #u"k~La 5.4 干涉截止滤光片 =fve/_Q~ 5.5 窄带滤光片 S<u-n8bv 5.6 负滤光片 4EZ9hA9+ 5.7 非均匀膜与Rugate滤光片 %D8ZO0J7H 5.8 仿生蛾眼/复眼结构 ->O2I? 5.9 颜色膜 ryCI>vJz 5.10 Vstack薄膜设计示例 J6%AH?Mt 5.11 Stack应用范例说明 I1\a[Xe8E 6. 薄膜性能分析 Eu-RNrYh# 6.1 电场分布
Nwt" \3 6.2 公差与灵敏度分析 6290ZNvr 6.3 反演工程 !V\Q<So< 6.4 均匀性,掺杂/孔隙材料仿真 xY U.D+RY 7. 真空技术 ;._7jFj. 7.1 常用真空泵介绍 ~aOuG5XK 7.2 真空密封和检漏 ks97k8B 8. 薄膜制备技术 UkHY[M7; 8.1 常见薄膜制备技术 +$(2:S*r 9. 薄膜制备工艺 OD 3f.fT 9.1 薄膜制备工艺因素 %4
XJn@J 9.2 薄膜均匀性修正技术 0=q;@OIf 9.3 光学薄膜监控技术 9,_mS{+B 10. 激光薄膜 uN^=<B?B 10.1 薄膜的损伤问题 :ORR_f`> 10.2 激光薄膜的制备流程 OhmQ, 10.3 激光薄膜的制备技术 GbA.UM~ 11. 光学薄膜特性测量 T4 N~(Fi) 11.1 薄膜光谱测量 HXYRH 11.2 薄膜光学常数测量 VX+jadYdq 11.3 薄膜应力测量 dT$M y`> 11.4 薄膜损伤测量 +sx 8t 11.5 薄膜形貌、结构与组分分析 Vc%R$E% Ra/Ukv_ v 有兴趣学习者请联系微信号18019382784
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