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薄膜设计与镀膜工艺 efyGjfoO 时间地点 <?rdhx 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司(微信公众号:讯技光电INFOTEK) 9WL$3z'* 苏州黉论教育咨询有限公司(微信公众号:honglun-seminary) {o%OG/!1 课程时间: 2026/12/4(四)-12/6(日) EP{ji"/7[ 课程地点:上海讯技 9*a"^ 课程讲师:讯技光电工程团队成员 I_`$$-| 课程费用:4800RMB/1人次(包含课程材料费、开票税金、午餐费) TaG(sRI 课程简介: ,_'Z Jlx 随着现代科技的飞速发展,光学薄膜的应用越来越广泛。光学薄膜的发展极大地促进了现代光学仪器性能的提高,其种类非常广泛,如增透膜,高反膜,分光膜,滤光片等,光学薄膜器件如今已经广泛应用到光通信技术、光伏产业技术、激光技术、光刻技术、航空航天技术等诸多领域。 G Mg|#DV 本次课程第一天主要为国际知名的光学薄膜分析软件Essential Macleod的使用,第二天为各种类型的光学薄膜的设计模拟方法,前两天主讲人为讯技光电高级工程师,第三天特别邀请上海光学精密机械研究所专家易葵,分享光学薄膜制备工艺、激光薄膜关键技术以及光学薄膜的测量方法等相关内容。
6(B[(Af 易葵:中国科学院上海光机所正高级工程师,主要从事光学薄膜设计、制备工艺和测试相关方面的研究工作,尤其是在高功率激光薄膜、空间激光薄膜、X射线多层膜、真空镀膜技术与薄膜制备工艺研究等方面有较为深入的研究。获得国家技术发明奖二等奖、上海市技术发明奖一等奖、上海市科技进步二等奖、军队科技进步二等奖等奖项,入选2014年度中科院“现有关键技术人才”。 A2nL=9~
'V4B{n7h 课程大纲: Gbb*p+( 1.Essential Macleod软件介绍 _nIt4l7 1.1 介绍软件 KctbNMU]k 1.2 创建一个简单的设计 |Mnc0Fgvy, 1.3 绘图和制表来表示性能 `!
)^g/>0i 1.4 通过剪贴板和文件导入导出数据 P.Qz>c^-C 1.5 可用的材料模型(Sellmeier, Cauchy, Drude, Lorentz, Drude-Lorentz, Hartmann) hIo^/_K 1.6 特定设计的公式技术 za5E{<0 1.7 交互式绘图 NV18~5#</ 2.光学薄膜理论基础 3Q#3S 2.1 垂直入射时的界面和薄膜特性计算 gGbJk&E 2.2 后表面对光学薄膜特性的影响 Pu2cU5n 3. 材料管理 JF9r[% 3.1 材料模型 XAUHF-"WE 3.2 介质薄膜光学常数的提取 %hA0 3.3 金属薄膜光学常数的提取 %Xl(wvd 3.4 基板光学常数的提取 dJ7 !je1N* 4. 光学薄膜设计优化方法 )Q~K\bJf 4.1 参考波长与g $mst\]&; 4.2 四分之一规则 vn.j>;E' 4.3 导纳与导纳图 :
UDh{GQ* 4.4 斜入射光学导纳 7;ddzxR4 4.5 光学薄膜设计的进展 tf{o=X.) 4.6 Macleod软件的设计与优化功能 p~<d8n4UH 4.6.1 优化目标设置 _sqV@ J 4.6.2 优化方法(单一优化,合成优化,模拟退火法,共轭梯度法,准牛顿法,针形优化,差分演化法) 9{R88f?; 4.6.3 膜层锁定和链接 $G#)D^-5G 5. 光学薄膜系统设计与分析案例与应用 "tU,.U 5.1 减反射薄膜 wN$u^] 5.2 分光膜 RA:3ZV 5.3 高反射膜 ,z|g b]\ 5.4 干涉截止滤光片 hODq&9! 5.5 窄带滤光片 =R||c 5.6 负滤光片 6z1>(Za7> 5.7 非均匀膜与Rugate滤光片 N'M+Z=!
5.8 仿生蛾眼/复眼结构 `;3fnTI:1 5.9 颜色膜 j7=x&)qbx 5.10 Vstack薄膜设计示例 HAGpM\Qa 5.11 Stack应用范例说明 b^&nr[DC 6. 薄膜性能分析 X[$FjKZh=F 6.1 电场分布 T']G:jkb 6.2 公差与灵敏度分析 9Z. WR-} 6.3 反演工程 z5IdYF? 6.4 均匀性,掺杂/孔隙材料仿真 =U3rOYbP; 7. 真空技术 $w
,^q+ 7.1 常用真空泵介绍
W[oQp2 = 7.2 真空密封和检漏 fqD1Ej 8. 薄膜制备技术 h$a%PaVf 8.1 常见薄膜制备技术 M>|R&v 9. 薄膜制备工艺 oz/Nx{bg 9.1 薄膜制备工艺因素 @x/D8HK2 9.2 薄膜均匀性修正技术 yxL(mt8 9.3 光学薄膜监控技术 zr1A4%S" 10. 激光薄膜 E9v_6d[ 10.1 薄膜的损伤问题 Wt9'-"c 10.2 激光薄膜的制备流程 s92SN F}g 10.3 激光薄膜的制备技术 Et+W LQ6) 11. 光学薄膜特性测量 ])$Rw$`w 11.1 薄膜光谱测量 ^Z:qlYZ 11.2 薄膜光学常数测量 Zf8_ko;|:- 11.3 薄膜应力测量 61&A` 11.4 薄膜损伤测量 l5CFm8% 11.5 薄膜形貌、结构与组分分析 _Rm1-,3 okQ<_1e{ 有兴趣学习者请联系微信号18019382784
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