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薄膜设计与镀膜工艺 lnL&v'{ 时间地点 nN>D=a"&F 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司(微信公众号:讯技光电INFOTEK) A[J9v{bD 苏州黉论教育咨询有限公司(微信公众号:honglun-seminary) .B*Yg<j 课程时间: 2026/12/4(四)-12/6(日) '&Ox,i]t 课程地点:上海讯技 MbLG8T:y 课程讲师:讯技光电工程团队成员 }l$M%Ps!a 课程费用:4800RMB/1人次(包含课程材料费、开票税金、午餐费) f^](D'L?D 课程简介: g0I<Fan 随着现代科技的飞速发展,光学薄膜的应用越来越广泛。光学薄膜的发展极大地促进了现代光学仪器性能的提高,其种类非常广泛,如增透膜,高反膜,分光膜,滤光片等,光学薄膜器件如今已经广泛应用到光通信技术、光伏产业技术、激光技术、光刻技术、航空航天技术等诸多领域。 8yz A
W&q 本次课程第一天主要为国际知名的光学薄膜分析软件Essential Macleod的使用,第二天为各种类型的光学薄膜的设计模拟方法,前两天主讲人为讯技光电高级工程师,第三天特别邀请上海光学精密机械研究所专家易葵,分享光学薄膜制备工艺、激光薄膜关键技术以及光学薄膜的测量方法等相关内容。 Pc{D,/EpR 易葵:中国科学院上海光机所正高级工程师,主要从事光学薄膜设计、制备工艺和测试相关方面的研究工作,尤其是在高功率激光薄膜、空间激光薄膜、X射线多层膜、真空镀膜技术与薄膜制备工艺研究等方面有较为深入的研究。获得国家技术发明奖二等奖、上海市技术发明奖一等奖、上海市科技进步二等奖、军队科技进步二等奖等奖项,入选2014年度中科院“现有关键技术人才”。
Y<TlvB)w 1 Uz'=a 课程大纲: SdC505m0* 1.Essential Macleod软件介绍 @3wI(l[
1.1 介绍软件 %(;jx 1.2 创建一个简单的设计 }Bw=2 ~ 1.3 绘图和制表来表示性能 Tj*o [2mD 1.4 通过剪贴板和文件导入导出数据 -cyJjLL* 1.5 可用的材料模型(Sellmeier, Cauchy, Drude, Lorentz, Drude-Lorentz, Hartmann) TFbCJ@X 1.6 特定设计的公式技术 Uy^Hh4| 1.7 交互式绘图 g3n^
<[E 2.光学薄膜理论基础 2g-'.w 2.1 垂直入射时的界面和薄膜特性计算 B)
&BqZ& 2.2 后表面对光学薄膜特性的影响 z/ T| 3. 材料管理 . hHt+ 3.1 材料模型 ar+mj=m 3.2 介质薄膜光学常数的提取 OQ#gQ6;?0 3.3 金属薄膜光学常数的提取 ;nLQ?eS\ 3.4 基板光学常数的提取 q9pBS1Ej 4. 光学薄膜设计优化方法 vq$%Ug/B 4.1 参考波长与g ~U*2h =] 4.2 四分之一规则 ]w%7/N0R 4.3 导纳与导纳图 "V~U{(Z 4.4 斜入射光学导纳 N\H{p%8 4.5 光学薄膜设计的进展 g-mK(kY4p 4.6 Macleod软件的设计与优化功能 M7yJ2u <Ty 4.6.1 优化目标设置 @SPmb o 4.6.2 优化方法(单一优化,合成优化,模拟退火法,共轭梯度法,准牛顿法,针形优化,差分演化法) aFo%B; 8m 4.6.3 膜层锁定和链接 pX6T7 5. 光学薄膜系统设计与分析案例与应用 uI%h$ 5.1 减反射薄膜 *-Lnsi^7v 5.2 分光膜 ec1snMY 5.3 高反射膜 9^0 'VRG 5.4 干涉截止滤光片 )_+" 5.5 窄带滤光片 kSU*d/}*u 5.6 负滤光片 )[9L|o5D 5.7 非均匀膜与Rugate滤光片 `]5XY8^kI 5.8 仿生蛾眼/复眼结构 -iBu:WyY$ 5.9 颜色膜 #Vul#JHW 5.10 Vstack薄膜设计示例 WSDNTfpI 5.11 Stack应用范例说明 }y|%wym 6. 薄膜性能分析 ksDG8^9>] 6.1 电场分布 ;oh88,*' 6.2 公差与灵敏度分析 FD|R4 V*3 6.3 反演工程 i+(`"8W 6.4 均匀性,掺杂/孔隙材料仿真 H=X>o.iVqi 7. 真空技术 P%Q}R[Q 7.1 常用真空泵介绍 q,u>`]} 7.2 真空密封和检漏 qFUpvTe 8. 薄膜制备技术 1b6gTfU 8.1 常见薄膜制备技术 2: pq|eiF 9. 薄膜制备工艺 ,)]ZD H 9.1 薄膜制备工艺因素 7azxqa5: 9.2 薄膜均匀性修正技术 "j$}'uK< 9.3 光学薄膜监控技术 42z9N\ f 10. 激光薄膜 /unOZVr( 10.1 薄膜的损伤问题 ,z%F="@b9 10.2 激光薄膜的制备流程 IZAbW 10.3 激光薄膜的制备技术 bL0+v@(r 11. 光学薄膜特性测量 u8o7J(aQsR 11.1 薄膜光谱测量 NPB':r-8 11.2 薄膜光学常数测量 sE/9~L 11.3 薄膜应力测量 2vWkAC; 11.4 薄膜损伤测量 MIR17%G 11.5 薄膜形貌、结构与组分分析 9s*Lzi[} w_U5w 有兴趣学习者请联系微信号18019382784
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