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摘要 o~<37J3). x&+/da-E/5 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 P )_ g t @G^]kDFM{  5@P2Z]Q Ex^7`-2,B 设计任务 Q?L-6]pg Ui@ Q&%b  6Y)'p
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