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摘要 es]S]}JV "eKNk 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 =e\E{K'f@ 6,Aj5jG  HCj/x<*F PEA<H0 设计任务 / ;P* ? NlLgXn!  TNgf96)
y n`'v8 `a] S#gIfb<D 光栅特性与参数的严格分析 xnz(hz6 \~j6}4XS1. 不同光栅周期的衍射效率 Wk3R6
V z +NxO !y  p\xi 5z s^O>PEX&<I 考虑光栅周期的选择 ]<y _
=> f( =3'wQ  kl4u]MyL# 偏振相关衍射特性 o]Ln:k l c:;m BS>~
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/K+GM8rtE 基于参数优化的光栅设计 ZH
o#2{F {R5{v6m_ 具有固定周期的二维参数优化 E05RqnqBn0
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 p xj}%LH 二维参数优化 - 设计＃1 Os1o!w:m5 8[2.HM$Y
 ]J`yh$a 52RFB!Z[ 二维参数优化 - 设计＃2 = aL=SC+ DM*GvBdR
 h ~\bJ*Zp L\O} q 制造公差分析 - 设计＃2 R9dC$Y]\M 0/ r\#"+XT
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 Y(:.f-Du 627xR$U~ 制造公差分析 S7/0B4[
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